[实用新型]一种可以双面涂胶的新型片托

说明书

本实用新型涉及一种可以双面涂胶的新型片托，包括底座和片托，所述片托设置在所述底座上，其中，所述片托包括底板，所述底板为长方体结构，所述底板上端面的四个顶角设置卡槽，所述卡槽呈阶梯状，所述卡槽包括放置层和限位层。本实用新型提供材料使用铝合金，具有重量轻，强度高，易加工的优势，方形底板的四角设四个卡槽，在四个卡槽上加工出L型的放置层和限位层，卡槽的尺寸根据基片尺寸确定，使基片四角卡在四个L型卡槽中固定住基片，匀胶时防止基片甩飞，本实用新型通过四个卡槽把基片四角支撑起来，基片中间为悬空状态，涂好胶的表面不和其他表面接触也就避免胶层被破坏，也不会使残胶进入匀胶机，保证了设备的正常运行。

技术领域

本实用新型属于基板保护装置技术领域，具体涉及一种可以双面涂胶的新型片托。

背景技术

光刻是薄膜微带电路制作工艺中的重要工艺，涂胶是工艺中的第一步，很多时候需要把基片双面涂胶。传统的片托通过真空泵抽取片托表面的空气使基片和片托接触面形成负压,使基片吸附在片托表面.对于单面涂胶，这样操作对基片没有影响，但是当基片双面涂胶时，必然会出现基片涂好胶的一面与片托表面接触。这种情况下片托表面容易划伤胶层，向下的吸附气流容易造成胶层起泡，另外容易将胶吸进匀胶机做成匀胶机故障。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种可以双面涂胶的新型片托，包括底座和片托，所述片托设置在所述底座上，其中，所述片托包括底板，所述底板为长方体结构，所述底板上端面的四个顶角设置卡槽，所述卡槽呈阶梯状，所述卡槽包括放置层和限位层。

优选的是，所述放置层为方形平台结构，所述限位层为L形结构。

在上述任一方案中优选的是，所述底板、放置层和限位层均位于不同的水平高度。

在上述任一方案中优选的是，所述片托由不锈钢材料制成。

本实用新型的有益效果为：本实用新型提供的一种可以双面涂胶的新型片托使用的基片几乎为方形，所以本实用新将片托设计成方形，材料使用铝合金，具有重量轻，强度高，易加工的优势，方形底板的四角设四个卡槽，在四个卡槽上加工出L型的放置层和限位层，卡槽的尺寸根据基片尺寸确定，使基片四角卡在四个L型卡槽中固定住基片，匀胶时防止基片甩飞，本实用新型通过四个卡槽把基片四角支撑起来，基片中间为悬空状态，涂好胶的表面不和其他表面接触也就避免胶层被破坏，也不会使残胶进入匀胶机，保证了设备的正常运行。

附图说明

图1为按照本实用新型的一种可以双面涂胶的新型片托的一优选实施例示意图；

图2为照本实用新型的一种可以双面涂胶的新型片托的图1实施例俯视图；

图3为照本实用新型的一种可以双面涂胶的新型片托的图1实施例使用图；

图4为照本实用新型的一种可以双面涂胶的新型片托的图2实施例使用图。

图中标注说明：1-底座；2-片托；3-底板；4-卡槽；5-放置层；6-限位层；7-基片。

具体实施方式

为了更进一步了解本实用新型的实用新型内容，下面将结合具体实施例详细阐述本实用新型。

如图1和图2所示，本实用新型提供了一种可以双面涂胶的新型片托，包括底座1和片托2，所述片托2设置在所述底座1上，其中，所述片托2包括底板3，所述底板3为长方体结构，所述底板3上端面的四个顶角设置卡槽4，所述卡槽4呈阶梯状，所述卡槽4用于放置基片7，所述卡槽4包括放置层5和限位层6，所述放置层5用于放置所述基片7，所述限位层6用于对放置在所述放置层5的基片7进行限位和固定，所述放置层5为方形平台结构，所述限位层6为L形结构，所述底板3、放置层4和限位层5均位于不同的水平高度，所述片托2由不锈钢材料制成。