[实用新型]一种正入射式反射光相位信息表征光路系统

权利要求书

1.一种正入射式反射光相位信息表征光路系统，其特征在于，包括：

光源发射器，用于发射光源；

起偏器(2)，用于将所述光源发射器发射的光源形成偏振光；

偏振分束器(3)，用于将所述偏振光分成两束光路：光路a与光路b；

第一样品台(5)，设于所述光路a中，用于放置被测样品，所述第一样品台(5)与所述偏振分束器(3)之间设有第一1/4波片(4)；

第二样品台(7)，设于所述光路b中，用于放置标准样件，所述第二样品台(7)与所述偏振分束器(3)之间设有第二1/4波片(6)；及

反射光检测单元，使携带样品信息的测试反射光和参考反射光发生相干干涉，并通过探测光谱强度计算被测样品的相位信息。

2.根据权利要求1所述的一种正入射式反射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述反射光检测单元包括依次设置的探测器(11)、衰减器(10)、检偏器(9)以及第三1/4波片(8)，

所述光路a中被测样品的反射光以及所述光路b中标准样件的反射光经过所述偏振分束器(3)汇聚，汇聚后的两束光同时出射并依次经过所述第三1/4波片(8)及检偏器(9)，所述第三1/4波片(8)与检偏器(9)对光进行调制，之后再经过所述衰减器(10)，进入所述探测器(11)。

3.根据权利要求1所述的一种正入射式反射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述光路a与光路b相互垂直。

4.根据权利要求1所述的一种正入射式反射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述偏振分束器(3)的分光比1：1。

5.根据权利要求1所述的一种正入射式反射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述光源发射器为激光器(1)。