[实用新型]一种薄膜吸附移载装置有效
| 申请号： | 202021234873.6 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN213010716U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 尤官京;冯杰;丁进新 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇创达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 深圳市辉泓专利代理有限公司 44510 | 代理人： | 刘海军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 吸附 装置 | ||
1.一种薄膜吸附移载装置，其特征在于，包括机架(10)，所述的机架(10)上设有移载机构(52)，所述的移载机构(52)上设有用于吸附薄膜的薄膜吸附组件(54)，所述的薄膜吸附组件(54)包含设置在移载机构(52)上的底板(541)，所述的底板(541)上设有安装孔，所述的安装孔上滑动连接有滑杆(542)，所述滑杆(542)的上端设有限位部(5421)，所述滑杆(542)的下端连接有吸附底板(543)，所述吸附底板(543)的底面连接有吸附面板(544)，所述的吸附面板(544)和吸附底板(543)之间设有真空腔，所述的吸附面板(544)上设有与真空腔相通的吸附孔(5441)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜吸附移载装置，其特征在于所述的底板(541)和吸附底板(543)之间设有弹性件(545)。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜吸附移载装置，其特征在于所述的底板(541)和吸附底板(543)之间设有弹簧。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜吸附移载装置，其特征在于所述的移载机构(52)包含沿水平方向滑动连接在机架(10)上的水平滑动座(521)，所述的机架(10)上设有用于驱动水平滑动座(521)动作的驱动器，所述的水平滑动座(521)上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座(522)，所述的水平滑动座(521)上设有用于驱动竖直滑动座(522)动作的驱动器，所述的水平滑动座(521)的底部设有旋转气缸(523)，所述的薄膜吸附组件(54)设置在旋转气缸(523)的执行端。
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