[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构

权利要求书

1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，包括：

固定基板(111)；以及

固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；

其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。

2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)与第二卡接孔的孔径大于所述连接杆(121)的径向尺寸。

3.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)的边缘开设有与其连通的第一调节槽(1121)，所述第一调节槽(1121)中嵌设有：

第一调节楔块(1123)；以及

第一调节部件，其与所述第一调节楔块(1123)相连接并延伸至第一卡接板(112)的外部；

其中，所述第一调节槽(1121)位于第一卡接孔(1122)的正下方，所述第一调节楔块(1123)可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽(1121)中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔(1122)。

4.如权利要求3所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一调节楔块(1123)的升降方向与所述第一卡接孔(1122)的中心相对。

5.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽(1132)，所述第二调节槽(1132)被布置为由至少一个调节子集构成，每个调节子集包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽(1132)，每个所述第二调节槽(1132)中嵌设有：

第二调节楔块(1133)；以及

第二调节部件，其与所述第二调节楔块(1133)相连接并延伸至第二卡接板(113)的外部；

其中，每个所述第二调节槽(1132)位于所述第二卡接孔的斜下方，所述第二调节楔块(1133)可在所述第二调节部件的调节下沿着所述第二调节槽(1132)往复滑移以侵入或撤出所述第二卡接孔。

6.如权利要求5所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第二调节楔块(1133)的滑移方向与所述第二卡接孔的中心相对。

7.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第二卡接板(113)的上方可拆卸地连接有拆装板(114)；在所述第二卡接板(113)与拆装板(114)的相接处，所述第二卡接板(113)上开设有向其内部凹陷的下卡接槽(1131)，所述拆装板(114)上开设有向其内部凹陷的上卡接槽(1141)，当所述拆装板(114)连接至所述第二卡接板(113)上时，所述上卡接槽(1141)与所述下卡接槽(1131)相合以形成所述第二卡接孔。

8.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)之间固接有平行保持板(115)。