[实用新型]一种晶圆生产运输用的运输保护机构

权利要求书

1.一种晶圆生产运输用的运输保护机构，其特征在于：包括第一运输保护塑料壳（1），所述第一运输保护塑料壳（1）的壳内设置有第一缓冲结构（2），且第一运输保护塑料壳（1）的下端设置有第二运输保护塑料壳（3），所述第二运输保护塑料壳（3）包括第一塑料保护壳（301）、对接槽（302）、放置孔（303）、挡环（304）、对接壳（305），且第一塑料保护壳（301）的上端边缘处设置有对接槽（302），所述第一塑料保护壳（301）的上端开设有放置孔（303），且放置孔（303）孔壁设置有挡环（304），所述第一塑料保护壳（301）的下端设置有对接壳（305），所述放置孔（303）槽内设置有第二缓冲结构（4），且第二缓冲结构（4）包括第一缓冲橡胶（401）、第二缓冲橡胶（402）、橡胶条（403），所述第一缓冲橡胶（401）的下端设置有第二缓冲橡胶（402），且第一缓冲橡胶（401）的侧壁设置有橡胶条（403），所述橡胶条（403）的另一端设置有另一个第一缓冲橡胶（401）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产运输用的运输保护机构，其特征在于：所述第一运输保护塑料壳（1）和第二运输保护塑料壳（3）的结构相同，且第一运输保护塑料壳（1）开设的放置孔（303）和第二运输保护塑料壳（3）开设的放置孔（303）对齐，所述第一缓冲结构（2）和第二缓冲结构（4）的结构相同。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产运输用的运输保护机构，其特征在于：所述第一塑料保护壳（301）和对接壳（305）一体设置，所述第一运输保护塑料壳（1）下端对接壳（305）与第二运输保护塑料壳（3）上端边缘开设的对接槽（302）相适配，所述挡环（304）和第一塑料保护壳（301）一体设置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆生产运输用的运输保护机构，其特征在于：所述第一塑料保护壳（301）上端开设有多个放置孔（303），两个横向所述放置孔（303）之间通过缝隙相连通。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆生产运输用的运输保护机构，其特征在于：所述第一缓冲橡胶（401）、第二缓冲橡胶（402）、橡胶条（403）一体设置，且橡胶条（403）与两个横向放置孔（303）之间通过缝隙适配设置，所述第一缓冲橡胶（401）下端边缘接触挡环（304）。