[实用新型]一种平盘高度量测器

说明书

本实用新型涉及高度量测器技术领域，具体地说，涉及平盘高度量测器，包括底座，底座上表面中心位置设有固定柱，固定柱中间底部设有第一锥型齿轮，第一锥型齿轮中心位置设有螺纹杆，第一锥型齿轮上方还设有第二锥型齿轮，T型滑槽中设有T型板体，T型板体端部开设有插槽，插槽中设有伸缩杆，量测柱前端面上设有多个均匀分布的刻度线；该平盘高度量测器，量测柱内部开设T型滑槽配合T型板体，便于T型板体在T型滑槽内部稳定的移动，使用者手动调节T型板体的高度，伸缩杆与插槽插接配合，便于调整不同的长度，测量不同大小的平盘，量测柱前端面上配合均匀分布的刻度线，再与指针的配合使用，便于准确的测量平盘的高度。

技术领域

本实用新型涉及高度量测器技术领域，具体为一种平盘高度量测器。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命。以物理气相沉积制程为例，物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将固体或液体材料源的表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，在基体表面沉积时，为了避免基体其他面被沉积，需要使用遮覆板进行遮挡，遮覆板可使用物理除膜、化学除膜的方式进行除膜，但这两种手段由于遮覆板材质、镀层的不同需要调整相对应的工艺，工艺繁杂，因此会不可避免的造成一定的磨损，因此，在清洗结束后，需要对遮覆板进行量测，量测需要使用到平盘高度量测器，而现有的平盘高度量测器都是使用者手动拿卷尺进行测量，其中不能保证在测量时，竖直高度是垂直的，与平盘口齐平测量容易产生偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平盘高度量测器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种平盘高度量测器，包括底座，所述底座上表面中心位置设有固定柱，所述固定柱内部呈空心状，所述固定柱中间底部设有第一锥型齿轮，所述第一锥型齿轮中心位置设有螺纹杆，所述第一锥型齿轮上方还设有第二锥型齿轮，所述第二锥型齿轮中心位置设有摇把，所述摇把穿出固定柱，所述固定柱上方设有量测柱，所述量测柱后端面上设有T型滑槽，所述T型滑槽中设有T型板体，所述T型板体靠近端部处开设有螺纹孔，所述T型板体端部开设有插槽，所述T型板体侧面上开设有若干个与插槽连通的第一销孔，所述插槽中设有伸缩杆，所述伸缩杆端部上设有卡板，所述伸缩杆侧面上开设有若干个第二销孔，其中一个所述第二销孔中设有插销，所述T型板体上还设有指针，所述螺纹杆延伸至T型滑槽中，且所述螺纹杆穿过螺纹孔，所述量测柱前端面上设有多个均匀分布的刻度线。

优选的，所述底座与固定柱为一体成型结构，所述第一锥型齿轮底部与固定柱通过转轴转动连接，所述螺纹杆与第一锥型齿轮为一体成型结构，所述第二锥型齿轮与摇把为一体成型结构，所述第一锥型齿轮与第二锥型齿轮齿轮啮合，所述摇把上套设有轴承，通过轴承与固定柱转动连接。

优选的，所述量测柱与固定柱通过螺栓固定连接，所述量测柱顶部设有限位板，所述限位板通过螺栓与固定柱固定连接。

优选的，所述T型滑槽的宽度与T型板体的宽度相适配，所述螺纹孔的孔径与螺纹杆的直径相适配，所述螺纹杆与螺纹孔螺纹连接。

优选的，所述插槽的宽度与伸缩杆的宽度相适配，所述伸缩杆与插槽插接配合，所述第二销孔呈等间距分布，且所述第一销孔与第二销孔相对应，所述第二销孔的孔径与第一销孔的孔径相适配，所述插销的直径与第二销孔的孔径相适配，所述卡板与伸缩杆为一体成型结构，所述卡板的下表面与T型板体的下表面平行。

优选的，所述指针与T型板体为一体成型结构，所述指针卡接在量测柱外壁上，所述指针的尖端与刻度线对应。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：