[实用新型]一种紫光灯工件检测平台有效

专利信息
申请号: 202021249419.8 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN212905357U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 刘得志 申请(专利权)人: 东莞市世平光电科技有限公司
主分类号: G01R31/44 分类号: G01R31/44
代理公司: 东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44596 代理人: 陈思远
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 紫光 工件 检测 平台
【说明书】:

实用新型公开了一种紫光灯工件检测平台,包括箱体、检测灯组件、旋转组件、防紫外线组件;箱体前侧铰接有透明板,该透明板设有两个孔洞,孔洞向箱体内侧连接有手套;检测灯组件包括白光灯、紫光灯,以及分别与白光灯、紫光灯电连接的灯体开光;白光灯、紫光灯设置于箱体内,灯体开光设置于箱体外侧;旋转组件包括旋转台、旋转开关;旋转台设置于箱体内;旋转开关设置于箱体外侧;防紫外线组件包括自收紧转轴、紫外线阻隔膜;自收紧转轴设置于箱体前侧;紫外线阻隔膜上设有与孔洞对应设置的通孔,其缠绕于自收紧转轴上,当其沿着自收紧转轴往下拉的时候,该紫外线阻隔膜可覆盖于透明板上;本实用新型具有检查效率高、保护工作人员的优点。

技术领域

本实用新型设涉及检测平台技术领域,特别涉及一种紫光灯工件检测平台。

背景技术

在半导体制程中,必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生,以维持半导体制程设备的效能,并可延长设备的使用寿命。在清洗完工件后,需要根据工件所处的状态、需要检验的项目,选用合适的器具进行检验,比如工件在清洗烘烤后,需要目视工件表面外观品质,需要使用紫光灯检查工件表面是否有毛屑残留,需要使用强光手电筒检查工件表面是否有裂痕等。而现有用于检查遮板外观品质的工序,工件直接摆放于平台上,工作人员手持紫光灯或强光手电筒对工件进行检查,当工件过重需要变换角度位置时,还需搬起遮板进行转动,并且,在使用紫光灯的检查情况下,长时间的直接对视将会损坏眼部健康,对皮肤也会有一定程度损害。因此,需要研发一种能保护工作人员健康,并且方便检测工件的平台,以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种紫光灯工件检测平台,以解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:

一种紫光灯工件检测平台,包括箱体、检测灯组件、旋转组件、防紫外线组件;所述箱体前侧铰接有透明板,该所述透明板设有两个孔洞,所述孔洞向所述箱体内侧连接有手套;所述检测灯组件包括白光灯、紫光灯,以及分别与所述白光灯、所述紫光灯电连接的灯体开光;所述白光灯、所述紫光灯设置于所述箱体内,所述灯体开光设置于所述箱体外侧;所述旋转组件包括旋转台、旋转开关;所述旋转台设置于所述箱体内;所述旋转开关设置于所述箱体外侧;所述防紫外线组件包括自收紧转轴、紫外线阻隔膜;所述自收紧转轴设置于所述箱体前侧;所述紫外线阻隔膜上设有与所述孔洞对应设置的通孔,其缠绕于所述自收紧转轴上,当其沿着所述自收紧转轴往下拉的时候,该所述紫外线阻隔膜可覆盖于所述透明板上。

进一步的,所述箱体下侧设有支撑支架;所述支撑支架上设有滑轮、支撑脚,且该所述支撑支架围设有一支撑板。

进一步的,所述旋转台由转盘、电机组成;所述转盘内设有齿轮,该所述齿轮与所述电机的输出端驱动连接。

进一步的,所述收紧转轴由连接轴、主轴、弹簧组成;所述连接轴设置于所述箱体的前侧,并位于所述透明板的上方;所述主轴套设于所述连接轴上,并通过所述弹簧与所述连接轴弹性连接。

进一步的,所述防紫外线组件还包括把手、固定片;所述把手设置于所述紫外线阻隔膜的末端;所述固定片对应所述把手设置于所述箱体前侧。

本实用新型的有益效果在于,检查效率高、保护工作人员;本实用新型通过将白光灯、紫光灯设置于同一箱体内,并且在箱体上设有伸入式手套、旋转组件,在箱体外侧设有防紫外线组件,能够以不同的模式检查工件,并且能保护工作人员健康,具有检查效率高、保护工作人员的优点。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型透明板后侧的结构示意图;

图3为本实用新型隐藏透明板后的内部结构示意图;

图4为本实用新型中防紫外线组件的结构示意图。

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