[实用新型]移载吸头及移载装置

权利要求书

1.一种移载吸头，其特征在于，包括：

第一基板(10)，一侧用于连接传动组件(30)以及气管组件(40)，开设有用于安装所述气管组件(40)的一端的第一通孔(11)；

第二基板(20)，远离所述第一基板(10)的一侧表面平整，且均匀开设有用于吸附工件的若干气孔(23)，另一侧开设有与所述气孔(23)连通的第二气道(22)；

所述第一基板(10)与第二基板(20)盖合固定状态下，所述第一基板(10)与第二基板(20)的第二气道(22)配合形成空腔，且所述第一通孔(11)与第二气道(22)连通。

2.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第二基板(20)开设有第二通孔(21)，用于连通所述气孔(23)与第二气道(22)。

3.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第二气道(22)沿所述气孔(23)与第一通孔(11)的开设位置布设；所述第二气道(22)与气孔(23)连通处的宽度大于或等于所述气孔(23)的直径。

4.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第一基板(10)的另一侧开设有第一气道，所述第一气道与所述第一通孔(11)连通；所述第一基板(10)与第二基板(20)盖合固定状态下，所述第一气道与第二气道(22)配合形成空腔。

5.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第二基板(20)在用于吸附工件的一侧设有若干避让区域(24)。

6.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第一基板(10)开设有若干第一避让通孔(15)，所述第二基板(20)开设有若干第二避让通孔(25)，所述第一基板(10)与第二基板(20)盖合固定状态下，所述第一避让通孔(15)与第二避让通孔(25)贯通。

7.根据权利要求1所述的移载吸头，其特征在于，所述第一基板(10)开设有限位孔(14)，用于连接所述传动组件(30)。

8.一种用于组装离子发生器的移载装置，其特征在于，包括：第一气管组件(41)、第二气管组件(42)、传动组件(30)以及如权利要求1-7任一项所述的移载吸头，所述移载吸头用于移载组成所述离子发生器的工件；所述第一气管组件(41)和第二气管组件(42)的一端通过所述第一通孔(11)安装于所述第一基板(10)远离第二基板(20)的一侧；所述传动组件(30)安装于所述第一气管组件(41)和第二气管组件(42)之间。

9.根据权利要求8所述的移载装置，其特征在于，所述离子发生器包括壳体以及由发射极板、介质阻挡板、接地极板(50)层叠构成的离子片；

当所述移载吸头用于移载所述发射极板和/或接地极板(50)时，所述气孔(23)基于所述发射极板和/或接地极板(50)矩阵布设或沿所述发射极板和/或接地极板(50)的边缘布设。

10.根据权利要求9所述的移载装置，其特征在于，所述第二基板(20)远离第一基板(10)的一侧开设有避让区域(24)，用于在将所述发射极板和/或接地极板(50)移载至介质阻挡板之上且与介质阻挡板层叠的状态下，避让所述介质阻挡板的涂胶区域。