[实用新型]一种水冷导流筒有效
申请号: | 202021250485.7 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN213037872U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 闫广宁;王建立;董永见 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 顾友 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 水冷 导流 | ||
本实用新型公开了一种用于制备硅单晶的水冷导流筒,涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域。其包括导流筒主体、设于所述导流筒主体的水冷管道和用于固定所述水冷管道的固定环体,所述导流筒主体的内壁包括散热加强区和观察区,所述散热加强区安装有若干个散热片。本实用新型提供的一种水冷导流筒,能够快速带走固液面交接处的结晶潜热,加快单晶生长,提高单晶产量和单晶拉速。
技术领域
本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域,尤其涉及一种用于制备硅单晶的水冷导流筒。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中,通过水冷导流筒有效的提高了晶棒的冷却速度,从而提高了拉制效率,目前一些单晶炉加装了水冷导流筒,由于冷却效率不高,造成晶棒拉制速度低。
因此,研究新式的水冷导流筒,以用于解决单晶直拉法拉速不高问题具有重要意义。
实用新型内容
为了解决现有技术的不足,本实用新型的主要目的在于提供一种水冷导流筒,增加了散热加强区,以快速带走固液面交接处的结晶潜热,提高单晶拉速。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
一种水冷导流筒,包括导流筒主体、设于所述导流筒主体的水冷管道和用于固定所述水冷管道的固定环体,所述导流筒主体的内壁包括散热加强区和观察区,所述散热加强区安装有若干个散热片。
可选地,所述观察区与所述导流筒主体的内壁的比例为10%-50%。
可选地,若干个所述散热片均匀并对称分布。
可选地,所述散热片的数量不小于18个。
可选地,所述散热片沿所述导流筒主体的筒口处至筒底处方向安装。
可选地,所述导流筒主体和所述散热片一体成型制成。
可选地,所述导流筒主体的内壁和所述散热片的表面设置有用于吸收热量的氧化层。
可选地,所述导流筒主体和所述散热片的材质采用不锈钢。
本实用新型提供的一种水冷导流筒,包括导流筒主体、水冷管道和固定环体,通过在导流筒主体的内壁设置散热加强区和观察区,在散热加强区安装有若干个散热片,通过散热片快速带走直拉法拉制单晶时固液面交接处的结晶潜热,加快单晶生长,提高单晶产量,从而提高了单晶拉速。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例提供的一种水冷导流筒的结构示意图;
图2是根据图1所示的一种水冷导流筒的结构示意图;
图3是根据图1所示的一种水冷导流筒的散热片安装示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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