[实用新型]一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台

权利要求书

1.一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：包括平台X轴、平台Y轴、平台Z轴、X轴菱形放大机构、Y轴菱形放大机构、Z轴铰链、X轴压电陶瓷、Y轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷、平台动态机构、X轴静态板、Y轴静态板、X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器，所述平台X轴上安装有X轴菱形放大机构，所述X轴菱形放大机构输入端过盈连接X轴压电陶瓷，所述X轴菱形放大机构输出端连接平台动态机构的Y轴解耦铰链，所述平台Y轴上安装有Y轴菱形放大机构，所述Y轴菱形放大机构输入端过盈连接Y轴压电陶瓷，所述Y轴菱形放大机构输出端连接平台动态机构的X轴解耦铰链，所述平台Z轴连接平台动态机构的中心圆环，所述平台Z轴内部设置有Z轴压电陶瓷，所述Z轴压电陶瓷前端的平台Z轴上设置有Z轴铰链，所述Z轴压电陶瓷侧面粘贴有Z轴传感器；

所述平台动态机构包括中心圆环、X轴解耦铰链、Y轴解耦铰链、正方形框架、X轴挡板、Y轴挡板、X轴动态板和Y轴动态板，所述中心圆环上下两侧分别通过Y轴解耦铰链连接正方形框架，所述中心圆环左右两侧分别通过X轴解耦铰链连接正方形框架，所述正方形框架上侧安装有两个X轴挡板，所述两个X轴挡板中间安装有X轴动态板，所述两个X轴挡板上部滑动连接有X轴静态板，所述X轴静态板内侧安装有X轴传感器，所述正方形框架右侧安装有两个Y轴挡板，所述两个Y轴挡板中间安装有Y轴动态板，所述两个Y轴挡板上部滑动连接有Y轴静态板，所述Y轴静态板内侧安装有Y轴传感器。

2.根据权利要求1所述的菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：所述平台动态机构的正方形框架四个直角上分别设置有导向解耦铰链。

3.根据权利要求1所述的菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：所述X轴传感器和Y轴传感器均为电容传感器，所述Z轴传感器为应变片传感器。

4.根据权利要求1所述的菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：所述X轴菱形放大机构两端对称设置有凸台，所述Y轴菱形放大机构两端对称设置有凸台。

5.根据权利要求1所述的菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：所述Z轴压电陶瓷前端与平台Z轴锥面相切接触连接，所述Z轴压电陶瓷后端与预紧螺母锥面相切接触连接，所述预紧螺母通过锁紧螺母螺纹连接平台Z轴。