[实用新型]一种MEMS压力传感器组件有效

专利信息
申请号: 202021262460.9 申请日: 2020-07-01
公开(公告)号: CN212340500U 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 祁建 申请(专利权)人: 无锡康森斯克电子科技有限公司
主分类号: G01L1/00 分类号: G01L1/00;F16M13/02;F16M11/06;F16M11/16
代理公司: 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 代理人: 宋萍
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 mems 压力传感器 组件
【说明书】:

实用新型涉及压力传感器技术领域,具体涉及一种MEMS压力传感器组件,包括一安装座,所述安装座顶部设有供MEMS压力传感器安装的、盲孔形式的安装槽,所述安装座底部抵触连接有放置座,所述安装座通过底部固设的转轴可转动地连接在放置座上,所述转轴由锁止机构限制其转动,所述放置座底部设有基板,所述基板底面嵌装有电磁铁。本实用新型的有益效果:将MEMS压力传感器放置在安装槽内,通过安装座绕转轴转动,使得在不拿取MEMS压力传感器的情况下,对MEMS压力传感器顶面各个位置进行检测,至少一定程度上降低了检测误差,同时设置锁止机构,通过锁止机构限制转轴转动,使安装座转动后能够固定,减少检测过程中,安装座产生窜动的现象。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器技术领域,具体涉及一种MEMS压力传感器组件。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器,压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。另有医用压力传感器。

现有技术中的基于MEMS芯片的压力传感器在测试环节中,通常只能对单一方向进行检测,为了保证压力传感器的检测精度,往往需要转动压力传感器,使检测设备能够对压力传感器各个位置进行检测,此时需要人工调整压力传感器,即,将压力传感器从检测平台上取下,再转动压力传感器,使压力传感器检测面其他位置对应检测设备,然后再将压力传感器安装在检测平台上,在这过程中,由于需要将压力传感器从检测平台上取下来,因此容易造成压力传感器放置位置产生偏差,导致检测精度降低,因而如何在不拿取压力传感器的情况下,对压力传感器各个位置进行检测是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的问题,提供一种MEMS压力传感器组件,它可以实现至少一定程度上解决现有技术的问题。

为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

一种MEMS压力传感器组件,包括一安装座,所述安装座顶部设有供MEMS压力传感器安装的、盲孔形式的安装槽,所述安装座底部抵触连接有放置座,所述安装座通过底部固设的转轴可转动地连接在放置座上,所述转轴由锁止机构限制其转动,所述放置座底部设有基板,所述基板底面嵌装有电磁铁。

作为如上所述技术方案的进一步优化,所述安装槽深度等于MEMS压力传感器长度。

作为如上所述技术方案的进一步优化,所述安装槽内滑配插合有卡环,所述MEMS压力传感器安装在卡环的环孔内,所述卡环上设有横跨其长度方向的开口,所述安装座上螺纹穿设有紧定螺钉,所述紧定螺钉穿进安装槽内一端抵紧卡环周面。

作为如上所述技术方案的进一步优化,所述卡环由尼龙材质制成。

作为如上所述技术方案的进一步优化,所述锁止机构包括套设于转轴穿进放置座内一端上的限位块,对应的所述放置座上设有供限位块自由通过的避空槽,所述转轴穿进避空槽内一端上滑配套装有锁止环,所述锁止环固设在避空槽内壁上,所述转轴上还滑配套装有浮动环,所述浮动环设于锁止环、限位块之间,其通过花键连接在所述转轴上,且其朝向所述锁止环一面沿其轴向阵列设有多个向其轴向外侧延伸的锁止块,对应的所述锁止环上开设有供锁止块卡合的锁止槽,所述浮动环与限位块之间设有弹性件,所述弹性件抵顶浮动环并驱动锁止块卡合在锁止槽内。

作为如上所述技术方案的进一步优化,所述弹性件为弹簧,所述弹簧套装在转轴上且其弹力方向两端分别抵顶浮动环、限位块。

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