[实用新型]一种无接触式镀膜装置有效
申请号: | 202021264901.9 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN213327819U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 胡文玮 | 申请(专利权)人: | 汕头万顺新材集团股份有限公司;广东万顺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/34 |
代理公司: | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人: | 彭志坚 |
地址: | 515078 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 镀膜 装置 | ||
本实用新型提出一种无接触式镀膜装置,包括放料卷、第一导辊组、第二导辊组、收膜卷、镀膜主体、第三导辊组、第四导辊组、放膜卷和收料卷,所述放料卷设于所述镀膜主体一侧,所述收料卷设于所述镀膜主体另一侧,所述第一导辊组、第二导辊组和收膜卷设于所述镀膜主体设置放料卷的一侧,所述第三导辊组、第四导辊组和放膜卷设于所述镀膜主体设置收料卷的一侧。本实用新型于基膜的镀膜面贴附一层保护膜,在基膜进入镀膜冷却辊之前及之后都处于有保护膜保护之状态,镀膜面不与导辊接触,避免导辊在基膜上方产生刮伤、灰尘,从而提升镀膜品质。
技术领域
本实用新型涉及溅射镀膜领域,尤其是涉及一种无接触式镀膜装置。
背景技术
现有的镀膜设备及镀膜制程,基膜于溅镀区域前及溅镀区域后,皆经过卷内面、卷外面的导辊,尤其是卷内面的导辊为镀膜面,经过的导辊越多越容易在基膜上方产生刮伤、灰尘,进而影响镀膜的品质,导致表面出现如针孔、划伤等缺陷,造成点状、线状等缺点。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中的问题,提出一种无接触式镀膜装置,可避免镀膜面与镀膜面的直接接触,提升镀膜品质。
本实用新型采用的技术方案如下:
一种无接触式镀膜装置,包括放料卷、第一导辊组、第二导辊组、收膜卷、镀膜主体、第三导辊组、第四导辊组、放膜卷和收料卷,所述放料卷设于所述镀膜主体一侧,所述收料卷设于所述镀膜主体另一侧,所述第一导辊组、第二导辊组和收膜卷设于所述镀膜主体设置放料卷的一侧,所述第三导辊组、第四导辊组和放膜卷设于所述镀膜主体设置收料卷的一侧,
所述放料卷传出的基膜一侧贴附有第一保护膜,所述基膜绕经第一导辊组后,其第一保护膜绕经第二导辊组传至所述收膜卷被收制成卷,所述基膜与所述第一保护膜剥离后,从一侧传入所述镀膜主体;
所述基膜在所述镀膜主体内镀膜完成后,从另一侧传出所述镀膜主体,所述放膜卷传出第二保护膜,所述第二保护膜绕经第三导辊组后,与从镀膜主体传出的基膜的镀层一侧贴附,贴附有第二保护膜的所述基膜绕经第四导辊组传至所述收料卷收制成卷。
进一步地,所述镀膜主体包括镀膜冷却辊和真空镀膜室,所述镀膜冷却辊的一侧位于所述真空镀膜室内,其另一侧露出于所述真空镀膜室外,所述基膜贴附于所述镀膜冷却辊的表面在所述真空镀膜室内进行传输。
进一步地,还包括机壳,所述放料卷、第一导辊组、第二导辊组、收膜卷、镀膜主体、第三导辊组、第四导辊组、放膜卷和收料卷均设于所述机壳内,所述机壳内设为真空腔。
进一步地,所述机壳内部与所述真空镀膜室隔开设置,且所述真空镀膜室的真空度高于所述机壳内部的真空度。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型于基膜的镀膜面贴附一层保护膜,在基膜进入镀膜冷却辊之前及之后都处于有保护膜保护之状态,镀膜面不与导辊接触,避免导辊在基膜上方产生刮伤、灰尘,从而提升镀膜品质。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解,并构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型,但不应构成对本实用新型的限制。在附图中,
图1:本实用新型现有技术中所述的镀膜装置的结构图;
图2:本实用新型实施例中的一种无接触式镀膜装置的结构图。
各部件名称及其标号
1—机壳;
2—放料卷;
3—收料卷;
4—第一导辊组;
5—第四导辊组;
6—镀膜冷却辊;
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