[实用新型]一种气相沉积装置

说明书

本实用新型公开了一种气相沉积装置，包括进气总管、反应管、加热机构、支撑台和用于输送常温保护气的水相冷却进气机构；加热机构装设于支撑台上，反应管穿过加热机构设置；反应管的进气端与进气总管连通，反应管的出气端与一排气机构可拆卸连接，以使被催化样品能够从反应管的出气端置入反应管中；进气总管远离反应管的一端分别通过第一进气管、第二进气管和第三进气管与不同的气体输送机构连通，分别用于为反应管输送碳源气体、还原性气体和保护气；水相冷却进气机构与进气总管连通；水相冷却进气机构的出气端位于第三进气管与反应管间，水相冷却进气机构的进气端位于进气总管下方。本实用新型可提高碳纳米管的强度。

技术领域

本实用新型涉及纳米管生产领域，尤其是指一种气相沉积装置。

背景技术

理想中的高吸收比涂层应该能够完美吸收从各个方向发射的可见光，能与之媲美的只有黑洞和黑体。经过科研人员的不懈努力，终于发现通过采用纳米结构的碳材料可以在可见光全波段吸收率方面取得很好的效果，其吸收率可高达99％以上，其中垂直碳纳米管阵列效果更为显著，因此选择将垂直碳纳米管阵列作为可见光高吸收涂层的研究方向。而气相沉积装置为制备高吸收率的垂直碳纳米管的主要设备，但现有的气相沉积炉在反应完成后无法快速降温，若通入过冷气体，将使碳纳米管发生急剧的温度变化，而导致碳纳米管的韧性降低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种气相沉积装置，加快冷却效率，提高碳纳米管的质量。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种气相沉积装置，包括进气总管、反应管、加热机构、支撑台和用于输送低温保护气的水相冷却进气机构；

所述加热机构装设于所述支撑台上，所述反应管穿过所述加热机构设置；

所述反应管的进气端与所述进气总管连通，所述反应管的出气端与一排气机构可拆卸连接，以使被催化样品能够从所述反应管的出气端置入所述反应管中；

所述进气总管远离所述反应管的一端依次通过第一进气管、第二进气管和第三进气管与不同的气体输送机构连通，分别用于为反应管输送碳源气体、还原性气体和保护气；

所述水相冷却进气机构与所述进气总管连通；

所述水相冷却进气机构的出气端位于所述第三进气管与所述反应管间，所述水相冷却进气机构的进气端位于所述进气总管下方。

进一步的，所述水相冷却进气机构包括出气管、第四进气管、用于盛装去离子水的进气瓶和用于盛装冰水混合物的冷却槽；

所述进气瓶放置于冷却槽内；

所述进气瓶通过所述第四进气管与第一氩气输送机构连通；

所述出气管的进气端与所述进气瓶连通，所述出气管的出气端与所述进气总管连通。

进一步的，所述反应管内居中装设有一石英样品台。

进一步的，还包括两个可升降的支撑架；

所述支撑架装设于所述支撑台上；

所述反应管两端分别架设于一个所述支撑架上。

进一步的，所述进气总管通过所述第一进气管与乙炔输送机构连通。

进一步的，所述进气总管通过所述第二进气管与氢气输送机构连通。

进一步的，所述进气总管通过所述第三进气管与第二氩气输送机构连通。

进一步的，所述反应管的内径为100mm～150mm。

进一步的，所述反应管位于所述加热机构内的长度为50cm～60cm。