[实用新型]一种硅片加工用均胶机

说明书

本实用新型公开了一种硅片加工用均胶机，包括底座和固定安装在底座上的多个均胶箱，所述底座内开设有传动区，所述传动区内安装有传动机构，多个所述均胶箱内均安装有安装台，多个所述安装台底部分别连接传动机构；所述均胶箱内还安装有胶液回收机构，所述胶液回收机构包括收胶箱和固定安装在均胶箱内的第一导流板，所述第一导流板的末端设置有连通孔，所述连通孔均胶箱和开设于底座内部的胶液槽连通，所述胶液槽底部固定安装有第二导流板，所述第二导流板的末端设置有出胶口，本实用新型通过设置多个均胶箱和作用于均胶箱的传动机构，使得该装置能够在同一时刻对多个硅片进行加工，同时还通过胶液回收机构对使用过的胶液进行快速回收。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片加工用均胶机。

背景技术

在硅片生产制造的过程中需要使用到均胶机将胶层均匀的涂覆在硅片上，一般均胶机的工作原理都是将胶液滴在硅片中心处，然后高速转动硅片，使得胶液在离心力的作用下能够均匀的涂覆在硅片的表面。

但是现有的均胶机存在一定的不足，一般的均胶机都是一台机器加工一个硅片，这样一来生产效率大大降低，同时当硅片旋转时，会有很多胶液从硅片上飞溅出去，对于这些飞溅出去的胶液经常是采用人工收集的方式去完成，对硅片的生产效率也有一定的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片加工用均胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片加工用均胶机，包括底座和固定安装在底座上的多个均胶箱，所述底座内开设有传动区，所述传动区内安装有传动机构，多个所述均胶箱内均安装有安装台，多个所述安装台底部分别连接传动机构；所述均胶箱内还安装有胶液回收机构，所述胶液回收机构包括收胶箱和固定安装在均胶箱内的第一导流板，所述第一导流板的末端设置有连通孔，所述连通孔均胶箱和开设于底座内部的胶液槽连通，所述胶液槽底部固定安装有第二导流板，所述第二导流板的末端设置有出胶口，所述收胶箱滑动安装在开设与底座的活动槽内且收胶箱位于出胶口下端，所述收胶箱上固定安装有把手。

作为本实用新型进一步的方案：所述传动机构包括多个转轴和固定安装在传动区底部的电机，所述电机的输出轴上固定安装有主动轮且电机末端固定连接一个转轴，剩下所述转轴转动安装在传动区的底部且转轴上还固定安装有从动轮，所述主动轮和从动轮的外表面缠绕有传送带，多个所述转轴的另一端分别固定连接安装台的底部。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电机的外表面固定安装有密封箱。

作为本实用新型再进一步的方案：所述均胶箱上安装有箱盖，所述箱盖的中央区域开设有通孔。

作为本实用新型再进一步的方案：所述均胶箱内固定安装有防护板，所述防护板和第一导流板倾斜方向相反。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过设置多个均胶箱和作用于均胶箱的传动机构，使得该装置能够在同一时刻对多个硅片进行加工，大大提高了硅片生产的工作效率。

2.本实用新型通过胶液回收机构能够将使用过的胶液快速回收，提高了工作效率。

3.本实用新型通过在均胶箱内安装防护板，可以避免胶液渗入到转轴和均胶箱连接处的缝隙。

附图说明

图1为一种硅片加工用均胶机的结构示意图。

图2为一种硅片加工用均胶机的立体图。

图中：1、底座；2、胶液槽；3、均胶箱；4、传动区；5、主动轮；6、传送带；7、从动轮；8、箱盖；9、通孔；10、安装台；11、防护板；12、连通孔；13、第一导流板；14、第二导流板；15、出胶口；16、收胶箱；17、活动槽；18、把手；19、电机；20、密封箱；21、转轴。