[实用新型]一种椭偏测量装置

权利要求书

1.一种椭偏测量装置，其特征在于：包括基板(1)、样品台(2)、检测部件(3)、角度切换机构(4)和角度定位机构(5)；

所述样品台(2)固定安装在基板(1)上，所述样品台(2)台面为平面，待测样品(20)放置在样品台(2)台面上；

所述检测部件(3)包括用于发射入射光的起偏臂(31)和用于接收反射光的检偏臂(32)，入射光轴和反射光轴形成有入射面；

所述角度切换机构(4)转动安装在基板(1)上，所述起偏臂(31)和检偏臂(32)安装在角度切换机构(4)上，所述角度切换机构(4)带动检测部件(3)同步转动，以改变检测部件(3)入射面与待测样品(20)表面的夹角；

所述角度定位机构(5)安装在基板(1)上，通过刚性抵触限位或自锁结构限定角度切换机构(4)的转动角度。

2.根据权利要求1所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述样品台(2)高度可调节设置。

3.根据权利要求1所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度切换机构(4)包括门型架(41)和轴承座(42)，所述轴承座(42)设为两个，同轴布置在基板(1)上；所述门型架(41)的端部固接有转轴(43)，所述门型架(41)通过穿入轴承座(42)中的转轴(43)与轴承座(42)转动连接；所述检测部件(3)安装在门型架(41)上。

4.根据权利要求1或3所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度定位机构(5)包括倾斜定位件(6)和竖直定位件(7)，所述倾斜定位件(6)和竖直定位件(7)沿角度切换机构(4)转动方向布置在角度切换机构(4)两侧；所述角度切换机构(4)与倾斜定位件(6)刚性抵触配合，将角度切换机构(4)定位至倾斜状态；所述角度切换机构(4)与竖直定位件(7)刚性抵触配合，将角度切换机构(4)定位至竖直状态。

5.根据权利要求4所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度切换机构(4)与倾斜定位件(6)抵触配合，所述检测部件(3)入射面与竖直面之间的夹角为54.7°±5°。

6.根据权利要求1或3所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度定位机构(5)包括安装在基板(1)上的第一驱动件(8)、固接在第一驱动件(8)输出端的曲柄(9)、以及转动连接在曲柄(9)上的中间杆(10)，所述中间杆(10)远离曲柄(9)的一端与角度切换机构(4)相铰接；所述第一驱动件(8)为力矩电机。

7.根据权利要求1或3所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度定位机构(5)包括安装在基板(1)上的导轨(11)、安装在导轨(11)上的滑块(12)、与滑块(12)铰接的连接杆(13)以及驱使滑块(12)沿导轨(11)作往复运动的第二驱动件(14)，所述连接杆(13)远离滑块(12)的一端与角度切换机构(4)相铰接；所述第二驱动件(14)为力矩电机或电动推杆。

8.根据权利要求1或3所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度定位机构(5)为电动推杆，电动推杆底座铰接在基板(1)的基板(1)上，电动推杆输出端铰接在角度切换机构(4)的侧壁上。

9.根据权利要求1或3所述的一种椭偏测量装置，其特征在于：所述角度定位机构(5)包括蜗轮(15)和蜗杆(16)，所述蜗轮(15)固接于角度切换机构(4)一侧，与角度切换机构(4)转动轴线同轴设置；所述蜗杆(16)转动安装在基板(1)上，与蜗轮(15)相啮合；所述蜗杆(16)端部设置有驱使其自转的第三驱动件(17)，所述第三驱动件(17)为电机或手动摇把。