[实用新型]一种基于XRF产品测试的多点重复定位装置有效

专利信息
申请号: 202021283289.X 申请日: 2020-07-03
公开(公告)号: CN212514341U 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 江红;边少杰;王冰;秦航 申请(专利权)人: 深圳市华唯计量技术开发有限公司
主分类号: G01N23/223 分类号: G01N23/223;G01N23/2204
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 巫苑明
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 xrf 产品 测试 多点 重复 定位 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种基于XRF产品测试的多点重复定位装置,包括用于放置样品的测试平台,还包括用于驱动测试平台左右移动的左右移动平台和用于驱动左右移动平台前后移动的前后移动平台,在测试平台的上方设有安装板,安装板上设有X光管组件以及位于X光管组件一侧的激光器,还包括用于驱动安装板上下移动的上下移动平台;通过左右移动平台和前后移动平台实现了测试平台在水平面上的自由移动,通过上下移动平台实现了安装板在竖直方向上的移动,利用X光管组件和激光器标记并定位样品,实现了对测试样品三维坐标的标记,可以对同一类型样品不同点进行反复测试,无需放回原位置,也无需机械定位,既减少了设计成本,又提高了工作效率。

技术领域

本实用新型属于X射线荧光光谱分析领域,尤其涉及一种基于XRF产品测试的多点重复定位装置。

背景技术

能量色散型X射线荧光光谱技术以其简便快捷、无损分析等优点,在生产、科研等各个行业都有非常广泛的应用,并且在测量镀层厚度方面向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步发展,测量的精确率已达0.1微米,精度可达到1%,相对于之前的技术已经有了大幅度的提高,它适用范围广,量程宽、操作简便且价廉,是工业和科研活动中使用最为广泛的测厚仪器。

目前市场上有多种方法对样品进行重复测试,但是大部分需要设置机械定位,即进行测试时,将样品取走后再进行同一点测试时需要将样品放回原位,如此一来,需要测试人员非常小心,并且同一机械定位对于不同的且不规则产品很难做到精准放回原位,不得不再次对样品中的测试点进行标定,使用体验较差,并且由于手动移动测试点的位置,很难做到精准放回原位,因此测量的准确性较差。

实用新型内容

本实用新型目的在于为克服现有的技术缺陷,提供一种基于XRF产品测试的多点重复定位装置,可以对同一类型样品不同点进行反复测试,并且无需放回原位置,也无需设置机械定位,减少了设计成本,还可以对任何测试过的样品中的多个点进行重复测试,无需再次标定,大大提了高测试效率。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种基于XRF产品测试的多点重复定位装置,包括用于放置样品的测试平台,还包括用于驱动所述测试平台左右移动的左右移动平台和用于驱动所述左右移动平台前后移动的前后移动平台,在所述测试平台的上方设有安装板,所述安装板上设有X光管组件以及位于所述X光管组件一侧的激光器,还包括用于驱动所述安装板上下移动的上下移动平台。

进一步的,所述安装板上固定设有定位块,所述X光管组件包括固定设于所述安装板上用于发射X射线的X射线光管以及固定设于所述定位块上用于接收荧光X射线的探测器接收仪。

进一步的,所述X射线光管的发射端竖直向下设置,所述探测器接收仪的接收端倾斜向下设置。

进一步的,所述定位块上固定设有用于辅助成像的摄像头。

进一步的,所述前后移动平台包括第一基座板、转动设于所述第一基座板上的第一滚珠丝杠、与所述第一滚珠丝杠配套的第一螺母、与所述第一滚珠丝杠传动连接的第一电机,所述左右移动平台的底端与所述第一螺母固定连接。

进一步的,所述前后移动平台还包括两个分设于所述第一滚珠丝杠两侧的第一导轨以及与所述第一导轨配套的第一滑块,所述左右移动平台的底端与所述第一滑块固定连接。

进一步的,所述左右移动平台包括固定设于所述第一滑块和第一螺母上端的第二基座板、转动设于所述第二基座板上的第二滚珠丝杠、与所述第二滚珠丝杠配套的第二螺母、与所述第二滚珠丝杠传动连接的第二电机,所述测试平台的底端与所述第二螺母固定连接。

进一步的,所述左右移动平台还包括两个分设于所述第二滚珠丝杠两侧的第二导轨以及与所述第二导轨配套的第二滑块,所述测试平台的底端与所述第二滑块固定连接。

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