[实用新型]一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置有效
申请号: | 202021283685.2 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN212160346U | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 郑宝瑞 | 申请(专利权)人: | 瑞宏精密电子(太仓)有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人: | 李玉婷 |
地址: | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加压 加热 褶皱 纳米 压印 装置 | ||
一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,包括上模座、下模座、治具、薄膜、上箱体、下箱体、空气压缩机、电加热器、上模座驱动气缸、下模座驱动气缸、压印支撑架和工作台,所述上模座上设有一组气体喷嘴,所述空气压缩机通过气管和一组气体喷嘴连通。本实用新型的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,在合模时,膜料受高压包覆工件,工件置放于治具上,膜料完全按治具的结构及空间进行对工件的完全贴合覆膜,使膜料的效果图完全移转至工件上,提升了良率,且治具设计拆成上下件,脱膜时只需卸下治具上件,移转时不仅减重、轻便,而且也可循环使用上盖,缩短工时,提高了生产效率。
技术领域
本实用新型属于纳米压印技术领域,具体地,涉及一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置。
背景技术
由于世界各国对环保越来越重视,3D纳米压印作为环保技术已逐步替代传统喷涂制程,传统工艺如喷涂、阳极外观设计有局限性,而此工艺设计自由度提升,触感亦强。
纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术,其能够把纳米图形从模板“复制”到基片上,具有产量高、成本低和工艺简单的优点。其制作过程为:在模板上形成有纳米尺度的微结构,在基片上涂有可流动的纳米压印胶,将模板与基片叠在一起,通过压力使基片上的纳米压印胶进入模板的纳米结构内,再通过加热或紫外曝光的方法使纳米压印胶固化成型,就可以使模板上的微结构“复制”到基片上。
但是,褶皱、挤料是目前OMR工艺制作中常见的异常问题点,也是影响一次良率的主要问题点之一,通常转角RC 3D纳米压印易挤料形成褶皱不良。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型的目的是提供一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,解决了现有纳米压印过程中容易产生褶皱、挤料,造成产品的成品率低,以及产品质量不高,严重影响企业生产竞争力的问题。
技术方案:本实用新型提供了一种加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,包括上模座、下模座、治具、薄膜、上箱体、下箱体、空气压缩机、电加热器、上模座驱动气缸、下模座驱动气缸、压印支撑架和工作台,所述压印支撑架设置在工作台上,所述上模座驱动气缸固定设置在压印支撑架上,并且上模座驱动气缸的活塞杆和上箱体连接,所述上模座固定设置在上箱体的内部,所述下模座驱动气缸设置在工作台上,并且下模座驱动气缸的活塞杆和下模座连接,所述治具固定设置在下模座的上端面上,所述上模座和下模座上下正对设置,所述上箱体可罩设在下箱体上,并且上箱体和下箱体可形成密封腔体,所述薄膜设置在上箱体和下箱体之间,并且薄膜将密封腔体分为上腔体和下腔体,所述上模座位于上腔体内,所述下模座和治具位于下腔体内,所述薄膜位于上箱体和下箱体内的部分处于上模座和治具之间,所述电加热器和下箱体连接,所述空气压缩机通过气管和上模座连接,所述上模座上设有一组气体喷嘴,所述空气压缩机通过气管和一组气体喷嘴连通。本实用新型的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,在合模时,膜料受高压包覆工件,工件置放于治具上,膜料完全按治具的结构及空间进行对工件的完全贴合覆膜,使膜料的效果图完全移转至工件上,那将治具设计分成上下件,在底座上四角增加L型避空区域,使膜料向L形避位处撑开,同时膜料往工件RC处结构面包覆收口,从而避免收口端落在RC末端造成褶皱和挤料,如此收口点落在L型避位交集点上,从而解决了RC转角的褶皱问题,提升了良率,且治具设计拆成上下件,脱膜时只需卸下治具上件,移转时不仅减重、轻便,而且也可循环使用上盖,缩短工时,提高了生产效率。
进一步的,上述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,所述治具包括治具底座和治具上件,所述治具底座和下模座固定连接,所述治具上件设置在治具底座上。
进一步的,上述的加压加热的防褶皱3D纳米压印装置,所述治具底座的截面为矩形,并且治具底座上端面的四个角部上设有L型避让凸块,所述治具上件位于L型避让凸块所构成的矩形截面内。
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