[实用新型]一种多种气体混配供应装置

权利要求书

1.一种多种气体混配供应装置，包括配气阀箱(1)和安装板(2)，其特征在于，所述配气阀箱(1)内设有安装板(2)，所述安装板(2)的顶面设有低压手动隔膜阀(3)、低压气动隔膜阀(4)、单向阀A(5)、单向阀B(6)、过滤器(7)、氨气纯化器(8)、氮气纯化器(9)、氢气纯化器(10)、氯化氢纯化器(11)、混合气纯化器(12)、氨气质量流量控制器(13)、氮气质量流量控制器(14)、氢气质量流量控制器(15)、氯化氢质量流量控制器(16)、混合气质量流量控制器A(17)和混合气质量流量控制器B(18),所述氨气纯化器(8)的底端通过管道与氨气质量流量控制器(13)固定连接，所述氮气纯化器(9)的底端通过管道与氮气质量流量控制器(14)固定连接，所述氢气纯化器(10)的底端通过管道与氢气质量流量控制器(15)固定连接，所述氯化氢纯化器(11)的底端通过管道与氯化氢质量流量控制器(16)固定连接，所述混合气纯化器(12)的底端通过管道与混合气质量流量控制器B(18)固定连接，所述低压气动隔膜阀(4)的底端通过管道与单向阀B(6)固定连接，所述单向阀A(5)的底部固定连接有过滤器(7)，所述单向阀B(6)的底部固定连接有过滤器(7)。

2.根据权利要求1所述的一种多种气体混配供应装置，其特征在于，所述混合气纯化器(12)为氯气与氮气含量为5％的混合型气体纯化器，混合气质量流量控制器A(17)为硅烷与氮气100ppm的混合型气体质量流量控制器，混合气质量流量控制器B(18)为氯气与氮气含量为5％的混合型气体流量控制器。

3.根据权利要求1所述的一种多种气体混配供应装置，其特征在于，所述单向阀A(5)设置有一个，单向阀B(6)设置有六个，低压气动隔膜阀(4)设置有22个，过滤器(7)设置有七个，氨气质量流量控制器(13)设置有一个，氮气质量流量控制器(14)设置有四个，氢气质量流量控制器(15)设置有四个，氯化氢质量流量控制器(16)设置有三个，混合气质量流量控制器A(17)设置有一个，混合气质量流量控制器B(18)设置有两个。

4.根据权利要求1所述的一种多种气体混配供应装置，其特征在于，所述过滤器(7)七个中连接单向阀A(5)的那一个过滤器(7)的另一端与氢气质量流量控制器(15)固定连接，过滤器(7)七个中连接单向阀B(6)的五个，分别与氨气质量流量控制器(13)、氮气质量流量控制器(14)、氢气质量流量控制器(15)、氯化氢质量流量控制器(16)、混合气质量流量控制器A(17)和混合气质量流量控制器B(18)固定连接，过滤器(7)七个中连接单向阀B(6)的一个过滤器(7)的另一端与氮气质量流量控制器(14)、氢气质量流量控制器(15)、氯化氢质量流量控制器(16)的中间一个固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种多种气体混配供应装置，其特征在于，所述氨气纯化器(8)、氮气纯化器(9)、氢气纯化器(10)、氯化氢纯化器(11)、混合气纯化器(12)的顶端和底端均设有低压手动隔膜阀(3)，且氨气纯化器(8)、氮气纯化器(9)、氢气纯化器(10)、氯化氢纯化器(11)、混合气纯化器(12)两端之间还设有一个低压手动隔膜阀(3)。

6.根据权利要求1所述的一种多种气体混配供应装置，其特征在于，所述氨气质量流量控制器(13)、氮气质量流量控制器(14)、氢气质量流量控制器(15)、氯化氢质量流量控制器(16)、混合气质量流量控制器A(17)和混合气质量流量控制器B(18)的顶端均设有低压手动隔膜阀(3)，混合气质量流量控制器B(18)的底端均设有低压气动隔膜阀(4)。