[实用新型]一种高分辨波前检测装置有效
| 申请号： | 202021289023.6 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN212693088U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李光;高学燕;何均章;周山;常艳;解平;黄德权;严伟;田小强;雷德川;蒋志雄;周文超;魏继峰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分辨 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高分辨波前检测装置，其特征在于：包括缩束器、分光镜以及数据处理系统；所述分光镜沿所述缩束器出射光方向设置；所述分光镜分出的子光束方向设有波前传感器，且波前传感器的输入端沿子光束出射方向设置；所述波前传感器输出端与所述数据处理系统输入端连接。
2.根据权利要求1所述的一种高分辨波前检测装置，其特征在于：所述分光镜至少设置一个。
3.根据权利要求2所述的一种高分辨波前检测装置，其特征在于：所述波前传感器包括微透镜阵列与面阵相机。
4.根据权利要求3所述的一种高分辨波前检测装置，其特征在于：所述面阵相机的靶面与所述微透镜阵列的焦平面重合。
5.根据权利要求3或4所述的一种高分辨波前检测装置，其特征在于：所述微透镜阵列设有若干个子透镜。
6.根据权利要求5所述的一种高分辨波前检测装置，其特征在于：所述波前传感器为哈特曼波前传感器。
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