[实用新型]半导体切筋站点用的吹气装置有效
申请号: | 202021292319.3 | 申请日: | 2020-07-02 |
公开(公告)号: | CN212883921U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 钟何莉;赵云峻;张超;卢红平;赵攀登 | 申请(专利权)人: | 上海泰睿思微电子有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 汪家瀚 |
地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上海)自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 站点 吹气 装置 | ||
1.一种半导体切筋站点用的吹气装置,安装于半导体切筋站点处的一对轨道上,其特征在于,所述吹气装置包括:
装设于一轨道的安装座;
穿置于所述安装座的调节杆,所述调节杆具有相对的第一端和第二端,所述第一端伸出所述安装座而置于一对轨道之间的空隙处,所述第二端位于所述安装座的外侧;
固定连接于所述调节杆的第一端、且置于所述的一对轨道之间的空隙处的吹气机构,通过转动所述调节杆的第二端带动所述吹气机构同步转动进而实现调节所述吹气机构的吹气方向;以及
连接于所述安装座的紧固件,在所述调节杆转动调节好所述吹气机构的吹气方向后,通过所述紧固件的紧固连接而限位所述调节杆的转动。
2.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述吹气机构包括一壳体、开设于所述壳体上的多个吹气孔以及与所述吹气孔连通的输气管;
所述壳体固定连接于所述调节杆的第一端;
所述输气管还与一供气源连通,通过输气管将所述供气源处的气体输送至所述吹气孔处并从所述吹气孔处吹出。
3.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述安装座上开设有供所述调节杆穿置的贯穿孔;
所述安装座的一侧设有与所述贯穿孔连通的切割槽,所述切割槽将所述安装座的侧部分割成第一部分和第二部分;
所述紧固件紧固连接所述第一部分和所述第二部分,通过所述紧固件的紧固连接而使得所述第一部分和所述第二部分相互靠近进而夹紧所述调节杆,实现了限位所述调节杆的转动。
4.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述安装座装设于所述轨道的底部;
通过所述调节杆调节所述吹气机构向斜向上的方向进行吹气。
5.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述安装座装设于所述轨道的顶部;
通过所述调节杆调节所述吹气机构向斜向下的方向进行吹气。
6.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述吹气机构设有两个,
一个吹气机构通过对应的安装座及调节杆装设于所述轨道的底部;
另一个吹气机构通过对应的安装座及调节杆装设于所述轨道的顶部。
7.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述的一对轨道上载有框架,所述的一对轨道上还设有对应所述框架的模具;
所述吹气机构向所述框架及所述模具进行吹气以吹走所述框架及所述模具上的异物。
8.如权利要求1所述的半导体切筋站点用的吹气装置,其特征在于,所述吹气机构的吹气方向与水平方向间形成一设定夹角。
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