[实用新型]一种特殊气体全自动不间断供气设备

权利要求书

1.一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；所述第一工艺气体供应模块包括连接第一进气管口(A)并依次连接的第一过滤器(1)、第一高压气动隔膜阀(2)、调压阀(3)、低压手动隔膜阀(4)、限流开关(5)、第二过滤器(6)和阻火器(7)，所述阻火器(7)出口端连接第一出气管口(B)；所述第二工艺气体供应模块包括连接第二进气管口(C)并依次连接的第三过滤器(8)和第二高压气动隔膜阀(9)，所述第二高压气动隔膜阀(9)出口端连接所述调压阀(3)入口端；所述吹扫抽真空模块包括连接第三进气管口(D)并依次连接的第一低压气动隔膜阀(10)、第一单向阀(11)和第三高压气动隔膜阀(12)，连接所述第一低压气动隔膜阀(10)出口端并依次连接的第二单向阀(13)和第四高压气动隔膜阀(14)，以及，连接所述调压阀(3)出口端并依次连接的第二低压气动隔膜阀(15)、第三单向阀(16)和真空发生器(17)，所述第三高压气动隔膜阀(12)出口端连接所述第一进气管口(A)，所述第四高压气动隔膜阀(14)出口端连接所述第二进气管口(C)，所述第三单向阀(16)出口端连接所述真空发生器(17)第一入口端，所述真空发生器(17)出口端连接第二出气管口(E)；所述高压测漏模块包括连接第四进气管口(F)和所述第一单向阀(11)入口端的第五高压气动隔膜阀(18)，连接所述第一过滤器(1)出口端和所述真空发生器(17)第一入口端的第六高压气动隔膜阀(19)，连接所述第三过滤器(8)出口端和所述真空发生器(17)第一入口端的第七高压气动隔膜阀(20)，以及，连接所述第四进气管口(F)和所述真空发生器(17)第二入口端的第八高压气动隔膜阀(21)。

2.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，还包括连接所述第一进气管口(A)的第一压力传感器(22)、连接所述调压阀(3)出口端的第二压力传感器(23)、连接所述第二进气管口(C)的第三压力传感器(24)和连接所述真空发生器(17)第一入口端的第四压力传感器(25)。

3.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第一过滤器(1)和所述第三过滤器(8)均为垫片式过滤器。

4.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第二过滤器(6)为在线过滤器。

5.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第一进气管口(A)通过第一供气弯管连接第一特殊气体钢瓶，所述第二进气管口(C)通过第二供气弯管连接第二特殊气体钢瓶。

6.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第三进气管口(D)连接高纯氮气气体钢瓶。

7.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第四进气管口(F)连接高纯氮气气体钢瓶。