[实用新型]一种微小元件筛选固定装置

权利要求书

1.一种微小元件筛选固定装置，其特征在于，包括：装夹平台和装载板，所述装夹平台内设有负压通道；所述装载板可拆卸连接于所述装夹平台；

所述装载板上设有料盒，所述料盒的进料口与所述装载板的承载面平行设置，所述装载板设有三层从下至上包括：底板、中间板和顶板；

所述顶板设有若干圆孔，所述中间板设有若干真空腔，所述底板设有若干组环形分布的真空孔，相邻的一个所述圆孔、一个所述真空腔和一组真空孔贯通且形成一个通道；所述圆孔配合待测量的微小元件的端面面积设置，所述负压通道与每组所述通道贯通。

2.如权利要求1所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述装夹平台包括固定端和卡紧端，所述固定端安装于工台上且所述固定端能震动，所述卡紧端可拆卸连接于所述固定端，所述卡紧端内设有负压通道，所述卡紧端与所述装载板可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述装载板与所述卡紧端的连接方式包括：凹凸配合、过盈配合、螺纹连接或者常规夹具。

4.如权利要求3所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述卡紧端设有凹槽，所述底板设有配合凹槽的凸出块，在所述凹槽与凸出块的配合下，所述负压通道与每组所述真空孔贯通。

5.如权利要求4所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述负压通道与每组所述真空孔的连接处设有密封圈。

6.如权利要求1所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述料盒设有把手。

7.如权利要求1所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述真空腔的竖直投影面积大于所述圆孔的竖直投影面积。

8.如权利要求1所述的微小元件筛选固定装置，其特征在于，所述顶板采用软质绝缘材料制成。