[实用新型]一种真空回转工作台

权利要求书

1.一种真空回转工作台，其特征在于，包括：

工作台本体，其设有容纳腔；

回转轴，其设置于所述容纳腔内并与所述工作台本体转动连接，所述回转轴开设有沿轴向延伸的第一通孔；

真空管路组件，其穿设于所述第一通孔内，所述真空管路组件设有真空通道；

管路接头，所述真空通道的两端分别连接有所述管路接头。

2.根据权利要求1所述的真空回转工作台，其特征在于，所述真空管路组件包括与所述回转轴固定连接的管路定位座，所述管路定位座开设有沿轴向延伸的第二通孔，所述管路接头连接于所述第二通孔的上端。

3.根据权利要求2所述的真空回转工作台，其特征在于，所述真空管路组件包括第一真空管，所述第一真空管活动套设于所述管路定位座的下端外侧并固定于所述容纳腔内，所述第二通孔的下端与所述第一真空管连通，所述第二通孔和第一真空管形成所述真空通道。

4.根据权利要求3所述的真空回转工作台，其特征在于，所述管路定位座下端的外周壁与所述第一真空管之间设有密封圈。

5.根据权利要求4所述的真空回转工作台，其特征在于，所述密封圈为旋转密封圈，所述管路定位座下端的外周壁开设有环形密封槽，所述环形密封槽内嵌设有所述旋转密封圈，所述旋转密封圈背向所述环形密封槽的一端面与所述第一真空管的内周壁抵接。

6.根据权利要求2所述的真空回转工作台，其特征在于，还包括第一真空管及沿所述回转轴径向延伸的第二真空管，所述第一真空管活动套设于所述管路定位座的下端外侧并固定于所述容纳腔内，所述第二通孔的下端与所述第一真空管连通，所述第二真空管与所述第一真空管的下端连接，所述第二通孔、第一真空管和第二真空管共同形成所述真空通道，所述第二真空管远离第一真空管的一端连接有所述管路接头。

7.根据权利要求1至6任一项所述的真空回转工作台，其特征在于，还包括驱动机构，其包括：

转子绕组，其绕设于所述回转轴外侧并与所述回转轴固定连接；

定子，其固定安装于所述容纳腔内并与所述转子绕组相对设置；

压盖，其安装于所述转子绕组的上端；

锁紧螺母，其设置于所述转子绕组下端并与所述回转轴螺纹连接。

8.根据权利要求1至6任一项所述的真空回转工作台，其特征在于，所述容纳腔内固定安装轴轴承座，所述回转轴外侧套设固定有轴承，所述回转轴与所述轴承座通过所述轴承转动连接。

9.根据权利要求1至6任一项所述的真空回转工作台，其特征在于，所述回转轴外侧套设有用于制动所述回转轴的抱闸组件。

10.根据权利要求1至6任一项所述的真空回转工作台，其特征在于，还包括编码组件，其包括：

编码齿轮，其套设固定于所述回转轴外侧；

编码器，用于检测所述编码齿轮的转速和角度。