[实用新型]一种节能型半导体加工用石英片抛光设备

说明书

一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆，所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架，所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A，所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接，所述抛光支架内的底部设置有抛光电机，所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮，所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架，所述切割支架内的一侧设置有切割电机，所述切割电机通过驱动轴连接有切刀，所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台，所述抛光台的顶部设置有抛光槽，所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B。本实用新型功能多样，使用方便，能够对石英片进行抛光切割清洗处理。

技术领域

本实用新型涉及石英片加工技术领域，特别涉及一种节能型半导体加工用石英片抛光设备。

背景技术

石英片，是有石英熔炼并切割而成，其中二氧化硅含量可达99.99％以上，在用于半导体之前，需要对其进行加工处理，包括抛光处理，然而，现有的石英片抛光设备使用时有如下缺点：1.固定石英片与抛光处理时，操作不当易发生损坏，抛光效果不佳，2.无法对抛光后的石英片进行切割清洗处理，导致加工效率过低，加工时间过长。为此，我们提出一种节能型半导体加工用石英片抛光设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆，所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架，所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A，所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接，所述抛光支架内的底部设置有抛光电机，所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮，所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架，所述切割支架内的一侧设置有切割电机，所述切割电机通过驱动轴连接有切刀，所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台，所述抛光台的顶部设置有抛光槽，所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B，且抛光台通过滑块与滑轨B滑动连接，所述L形支架的另一侧设置有清洁箱。

进一步地，所述抛光台的一侧设置有推杆。

进一步地，所述清洁箱的顶部设置有通风孔，所述清洁箱的一侧设置有密封门。

进一步地，所述清洁箱内的顶部设置有烘干风机，所述清洁箱内位于烘干风机底部设置有烘干台，所述烘干台的一侧设置有超声波清洗机。

进一步地，所述抛光台的顶部通过预留螺纹孔螺纹连接有螺杆，所述螺杆的端部设置有海绵垫,所述抛光槽内设置有海绵。

进一步地，所述超声波清洗机的一侧设置有排水管，且排水管贯穿清洁箱，所述排水管的出水端设置有排水阀。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过设置的抛光台与螺杆，能够将石英片限位固定，通过设置的海绵与海绵垫，能够减缓石英片在抛光处理时，受到的压力，从而降低石英片抛光处理时的损坏率。

2、通过设置的切割电机与切刀，能够将抛光后石英片进行切割处理，去除边角料，通过设置的超声波清洗机与烘干风机，能够对石英片进行清洗烘干处理，去除表面碎屑灰尘。

附图说明

图1为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备整体结构示意图。

图2为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备密封门结构示意图。

图3为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备抛光台结构示意图。