[实用新型]一种稳态磁场辅助的激光微抛光设备

权利要求书

1.一种稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，包括柜体、连接所述柜体的工作台、连接所述工作台的电控永磁组件、能够向所述电控永磁组件发射激光的激光发生装置、能够产生包围待加工的工件的惰性气体的气路装置、用于对所述激光发生装置进行散热的降温装置，以及用于控制所述电控永磁组件、所述激光发生装置、所述气路装置和所述降温装置的控制设备；所述控制设备能够控制所述电控永磁组件的充磁和退磁。

2.如权利要求1所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述电控永磁组件包括具有容纳槽和吸附面的吸盘、设置于所述容纳槽内的主磁体，以及设置于所述主磁体的远离所述吸附面的一侧的可逆磁体；所述主磁体的N极与S极朝向固定不变，所述可逆磁体的N极与S极朝向可逆；相邻的所述主磁体同极相对设置，所述可逆磁体的其中一个磁极与相邻的所述主磁体之间的缝隙相对设置，且所述可逆磁体的另一个磁极背对相邻的所述主磁体之间的缝隙设置。

3.如权利要求2所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述电控永磁组件还包括连接所述吸盘的旋转电机，所述旋转电机能够驱动所述吸盘绕平行于所述吸附面的旋转轴旋转。

4.如权利要求2所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述电控永磁组件还包括具有容纳腔的壳体，所述吸盘设置于所述容纳腔中。

5.如权利要求2所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述可逆磁体采用电磁线圈，所述控制设备包括连接所述电磁线圈的控制电路，且所述控制电路用于通过控制所述电磁线圈的电流方向控制所述可逆磁体的磁极方向。

6.如权利要求1-5任一项所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述激光发生装置包括用于产生激光的激光发生器、连接所述激光发生器且用于输出激光的激光输出件，以及连接所述激光输出件的移动组件；所述移动组件用于控制所述激光输出件的位置的移动组件。

7.如权利要求6所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述移动组件包括导轨、电机和传动组件，所述激光输出件可活动连接所述导轨，所述电机用于通过所述传动组件驱动所述激光输出件沿所述导轨移动。

8.如权利要求6所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述降温装置包括循环水冷机，以及连接所述循环水冷机和所述激光发生器的输水管，所述输水管用于在所述循环水冷机和所述激光发生器之间形成水回路。

9.如权利要求8所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述柜体包括立柱、连接所述立柱的横梁，以及连接所述立柱和所述横梁的外板，所述工作台将所述柜体分为上柜体和下柜体，所述激光输出件和所述移动组件设置于所述上柜体中，所述激光发生器和所述循环水冷机设置于所述下柜体中。

10.如权利要求1-5任一项所述的稳态磁场辅助的激光微抛光设备，其特征在于，所述气路装置包括储存有高压惰性气体的储气瓶、连接所述储气瓶的气阀，以及连接所述气阀和所述电控永磁组件的输气管，所述输气管用于将所述储气瓶内的高压惰性气体输送至所述电控永磁组件。