[实用新型]一种单细胞温度检测传感器

权利要求书

1.一种单细胞温度检测传感器，包括相互贴合的玻璃基片(1)与PDMS片(2)，所述玻璃基片(1)的贴合面上溅射有用于导电和温度传感的Pt电极块(3)及其引出线(4)，所述PDMS片(2)的贴合面为开槽结构面，所述PDMS片(2)的贴合面开设流槽(7)，与所述玻璃基片(1)贴合后在玻璃基片(1)上面形成检测时供单细胞溶液流经的流道，流槽(7)的两端分别开设打穿PDMS片(2)的通孔，形成进样孔(5)与出样孔(6)；其特征在于，所述流槽(7)中设置供单细胞流入并留置的开口围坝，所述开口围坝的开口朝向进样注入方向；所述开口围坝位于所述玻璃基片(1)的上的Pt电极块(3)上方，开口围坝与玻璃基片(1)之间保留检测时供试样流体与空气流过的高度间隙，所述高度间隙小于待测单细胞的外径。

2.如权利要求1所述的单细胞温度检测传感器，其特征在于，所述开口围坝为设有开口的呈C字形圆环的C型坝(8)，C型坝(8)的开口宽度大于C型坝(8)的坝内半径；或者，所述开口围坝为一边开口的呈口字形方环方型坝，方型坝的开口宽度大于C型坝(8)的开口边内侧边长的一半。

3.如权利要求2所述的单细胞温度检测传感器，其特征在于，所述开口围坝的坝高度为50um，所述开口围坝与玻璃基片(1)之间的高度间隙为5um；所述C型坝(8)的坝内直径为150um，或者，方型坝的内侧边长为150um。

4.如权利要求1所述的单细胞温度检测传感器，其特征在于，所述流槽(7)包括进样段(7A)、出样段(7B)和分为对称分布的2路检测段(7C)，所述检测段(7C)流槽(7)围成矩形，矩形的下边流槽(7)经进样段(7A)流槽(7)连接进样孔(5)，矩形的上边流槽(7)经出样段(7B)流槽(7)连接出样孔(6)；矩形的2侧边流槽(7)中分别设置所述开口围坝。

5.如权利要求1所述的单细胞温度检测传感器，其特征在于，所述Pt电极块(3)包括先溅射在玻璃基片(1)上面的一层厚度为500a的Ti层作为粘附层，与溅射厚度为1500a的Pt层，共同形成一层厚度为500/1500a的Ti/Pt工作层，并在Ti/Pt工作层上面沉积一层厚度为5000a的Si3N4层(12)，作为绝缘层。

6.如权利要求1所述的单细胞温度检测传感器，其特征在于，所述Pt电极块(3)呈Pt丝来回迂回折返的形状，Pt电极块(3)的两端分别连接其2侧引出线(4)，2侧引出线(4)搭成人字形，Pt电极块(3)位于人字形的顶端，2侧引出线(4)的底端位于玻璃基片(1)的侧边缘。