[实用新型]一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，包括：

炉体；

插孔，所述插孔开设在炉体的一侧上；

热电偶，所述热电偶滑动安装在插孔内，所述热电偶的一端延伸至炉体外；

两个方块，两个所述方块均固定安装在炉体的一侧上；

两个装孔，两个所述装孔分别开设在两个所述方块相互靠近的一侧上；

两个弧形块，两个所述弧形块均设在两个所述方块之间，两个所述弧形块相适配；

两个定块，两个所述定块分别固定安装在对应的所述弧形块上；

两个转杆，两个所述转杆分别转动螺纹安装在对应的所述方块上，两个所述转杆的一端分别与对应的所述定块转动连接；

四个L杆，四个所述L杆分别固定安装在两个所述装孔的内壁上，四个所述L杆呈矩形列阵分布；

四个条杆，四个所述条杆分别滑动安装在对应的所述L杆上，四个所述分别与对应的所述弧形块固定连接；

四个运动槽，四个所述运动槽分别开设在对应的所述条杆上，四个所述L杆分别在对应的所述运动槽内滑动运动。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，所述炉体的底部固定安装有四个支起脚，四个所述支起脚呈矩形列阵分布。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，两个所述方块上均开设有条状槽，两个所述条状槽的内壁上均设有内螺纹，两个所述转杆上均设有外螺纹，两个所述转杆分别与对用的所述条状槽螺纹连接，两个所述转杆相互远离的一端均固定安装有手调转块，两个所述弧形块的一侧均固定安装有密封块，两个所述密封块均与插孔相适配。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，所述炉体的一侧固定安装有撑板，所述撑板上设有两个转轴。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，所述撑板的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴与对应的所述转轴的一端固定连接，两个所述转轴上均固定套设有齿轮，两个所述齿轮相啮合。

6.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，其特征在于，两个所述转轴上均焊接有连杆，两个所述连杆上均固定安装有夹块，两个所述夹块均与热电偶相适配，两个所述转轴均转动安装在撑板上，所述撑板上固定安装有两个支撑块，两个所述支撑块分别与对应的所述转轴转动连接。