[实用新型]一种基板吸附剥离装置

权利要求书

1.一种基板吸附剥离装置，包括上定盘(1)与下定盘(2)，其特征在于：所述上定盘(1)内顶部由外向内依次设有液压装置一(4)与液压装置二(3)，所述液压装置一(4)的底部延伸端连接有推杆一，所述推杆一的底部螺接有吸附盘(5)，所述液压装置二(3)的底部延伸端连接有推杆二，所述推杆二的底部连接有伸缩板(6)，所述上定盘(1)底部设有固定吸附盘(9)，所述下定盘(2)顶部设有推板(8)，所述下定盘(2)内底部连接有液压装置三(7)，所述液压装置三(7)的顶部延伸端连接有推杆三，所述推杆三的顶部与推板(8)的底部连接。

2.根据权利要求1所述的一种基板吸附剥离装置，其特征在于：所述吸附盘(5)包括底座(10)与吸附模块(11)，所述吸附模块(11)以螺接、粘接或卡接的方式固定在底座(10)上。

3.根据权利要求2所述的一种基板吸附剥离装置，其特征在于：所述底座(10)与吸附模块(11)的尺寸、形状一致。

4.根据权利要求1所述的一种基板吸附剥离装置，其特征在于：所述吸附盘(5)与固定吸附盘(9)交替设置在上定盘(1)底部，所述固定吸附盘(9)的个数大于吸附盘(5)的个数。

5.根据权利要求1所述的一种基板吸附剥离装置，其特征在于：所述上定盘(1)内底部分别纵向开设有滑槽与移动槽，所述伸缩板(6)位于滑槽内，所述吸附盘(5)位于移动槽内。