[实用新型]一种用于自动校正平台水平度的装置有效
申请号: | 202021320314.7 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN212625498U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 姚泽鑫;陈天虎;陈徐杰;马金州;张文军 | 申请(专利权)人: | 东莞高伟光学电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 自动 校正 平台 水平 装置 | ||
1.一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:包括有固定座、活动平台、同心轴承以及多个偏心顶压机构;该活动平台可调水平度地设置于固定座的上方,活动平台的底部与固定座之间连接有多个拉伸弹簧;该同心轴承可转动地设置于固定座上并抵于活动平台之一边角的底部;该多个偏心顶压机构均设置于固定座上并位于活动平台其余边角的下方侧旁,每一偏心顶压机构均包括有旋转轴、伺服电机以及偏心轴承,该旋转轴可转动地安装在固定座上,该伺服电机固定在固定座上并带动旋转轴来回转动,该偏心轴承固定在旋转轴上并由旋转轴带动转动,且偏心轴承抵于活动平台之对应边角的底部。
2.如权利要求1所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述拉伸弹簧为四个,其分布在活动平台之四个边角的底部。
3.如权利要求1所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述固定座上开设有定位孔,该活动平台的底面固定有定位销,该定位销插入定位孔中。
4.如权利要求3所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述定位销为沿活动平台周缘均等排布的四个,对应的该定位孔亦为四个,每一定位销分别插入对应的定位孔中。
5.如权利要求3所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述定位孔的周缘固定有橡胶套,该橡胶套套设于定位销的外侧面上。
6.如权利要求1所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述偏心顶压机构为三个,其分布在固定座的三个边缘并对活动平台的三个边角进行顶压。
7.如权利要求1所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述旋转轴具有一螺纹段,该螺纹段上螺合连接有一活动座,该活动座由螺纹段带动而沿旋转轴的轴向来回活动,该活动座上具有三个触发片,且固定座上设置有沿旋转轴轴向依次排布的正极限传感器、原点传感器和负极限传感器,该三个触发片分别活动靠近或远离对应的传感器。
8.如权利要求7所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述螺纹段位于偏心轴承和伺服电机之间。
9.如权利要求7所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述固定座上设置有滑轨,该活动座滑动安装在滑轨上沿滑轨来回移动。
10.如权利要求7所述的一种用于自动校正平台水平度的装置,其特征在于:所述固定座上设置有安装槽,该正极限传感器、原点传感器和负极限传感器均可调节位置地设置在安装槽中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造