[实用新型]一种高通量表面增强拉曼散射基底

权利要求书

1.一种高通量表面增强拉曼散射基底，包括金属基底，其特征在于，所述金属基底表面设置有呈矩阵排布的复数个SERS单元，所述SERS单元为方形或圆形，所述SERS单元表面设置有微纳复合结构层，所述微纳复合结构包括呈点阵分布的微米坑，所述微米坑内分布有纳米带，所述纳米带内设置有纳米突起，相邻微米坑阵列的交界处分布有纳米波纹，所述纳米波纹的表面覆盖有纳米颗粒。

2.根据权利要求1所述的一种高通量表面增强拉曼散射基底，其特征在于，所述金属基底材料为金、银或铜。

3.根据权利要求2所述的一种高通量表面增强拉曼散射基底，其特征在于，所述微米坑的周期为10-100μm，所述微米坑的深度为1μm-50μm，所述纳米颗粒的直径为1～100nm。

4.根据权利要求2所述的一种高通量表面增强拉曼散射基底，其特征在于，方形SERS单元的尺寸为2mm*2mm、3mm*3mm或4mm*4mm；圆形SERS单元的直径为2mm、3mm或4mm。

5.根据权利要求4所述的一种高通量表面增强拉曼散射基底，其特征在于，所述SERS单元的数量与金属基底面积相适配，可为10*10，20*20，100*100或200*200。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种高通量表面增强拉曼散射基底，其特征在于，所述SERS单元的微纳复合结构由超快激光烧蚀制备，所述SERS单元的形状和分布由激光扫描实现。