[实用新型]一种用于半导体芯片生产用机械手

权利要求书

1.一种用于半导体芯片生产用机械手，包括支撑座(1)，其特征在于，所述支撑座(1)固定安装有四个第一伸缩杆(2)，四个所述第一伸缩杆(2)远离支撑座(1)一端共同固定安装有安装架(4)，所述安装架(4)和支撑座(1)之间安装有升降装置，所述安装架(4)上对称固定安装有两个支架(5)，两个所述支架(5)共同活动安装有载物架(6)，所述载物架(6)和安装架(4)之间安装有减震装置，所述载物架(6)上安装有机械手本体(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于，四个所述第一伸缩杆(2)上均套设有第一弹簧(3)，每个所述第一弹簧(3)两端分别固定安装在支撑座(1)和安装架(4)的外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于，所述升降装置包括支撑座(1)上活动安装的螺纹杆(8)，所述安装架(4)靠近支撑座(1)一侧外壁上固定安装有螺纹管(9)，所述螺纹杆(8)和螺纹管(9)之间螺纹安装，所述支撑座(1)上固定安装有电机(11)，所述电机(11)输出轴上固定安装有第一齿轮(12)，所述螺纹杆(8)上固定安装有第二齿轮(13)，所述第一齿轮(12)和第二齿轮(13)之间齿轮啮合，且第一齿轮(12)和第二齿轮(13)均为锥齿轮。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于，所述支撑座(1)上固定安装有轴承(10)，所述螺纹杆(8)固定安装在轴承(10)的内环上。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于，所述载物架(6)两侧外壁上对称固定安装有两个滑杆(16)，两个所述支架(5)相靠近一侧外壁上均开设有滑槽(17)，所述滑杆(16)和滑槽(17)之间滑动安装。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于，所述减震装置包括安装架(4)和载物架(6)之间相靠近一侧外壁之间共同等距离固定安装有多个第二伸缩杆(14)，每个所述第二伸缩杆(14)上均套设有第二弹簧(15)。