[实用新型]光栅尺动态误差的检测系统

权利要求书

1.光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，包括：

第一装置，用于获取待测光栅尺的实时位置；

第二装置，用于确定待测光栅尺的基准位置；

信号采集控制器，将第一装置及第二装置获取的位置信号发送至计算机；

计算机对接收到的位置信号进行比较，确定光栅尺的动态误差。

2.根据权利要求1所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，还包括导轨和可沿导轨方向滑动的移动滑块；所述第二装置包括激光干涉系统，激光干涉系统包括激光器、干涉镜和反射镜；所述激光器、干涉镜在导轨上依次设置；所述反射镜位于移动滑块上。

3.根据权利要求1所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，所述第一装置包括光栅尺读数头，所述光栅尺读数头固定于移动滑块或导轨上。

4.根据权利要求1-3任一项所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，信息采集控制器包括第一数据采集模块、第二数据采集模块、第一衰减电路、第二衰减电路、FPGA控制模块、数据缓存模块；

激光干涉系统的激光器通过所述第一数据采集模块与第一衰减电路相连；光栅尺读数头通过第二数据采集模块与第二衰减电路相连；第一衰减电路、第二衰减电路均与FPGA控制模块相连，所述FPGA控制模块通过数据缓存模块与所述计算机连接。

5.根据权利要求3所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，光栅尺读数头由光栅尺读数头驱动系统驱动，光栅尺读数头驱动系统包括伺服直线电机，计算机通过伺服直线电机控制器控制伺服直线电机；

所述伺服直线电机的定子与导轨固定，所述移动滑块与伺服直线电机的动子固定，伺服直线电机的动子可带动移动滑块一起运动。

6.根据权利要求2-3或权利要求5任一项所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，所述导轨上还设有温度传感器和振动传感器。

7.根据权利要求2所述的光栅尺动态误差的检测系统，其特征在于，所述导轨为气浮导轨。