[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子产品

说明书

本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底、第一环形件、第二环形件、连接组件、固定件、第二辐条及电极组件，通过电极组件驱动第一环形件及第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测第一环形件及第二环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移，利用环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，提高陀螺仪的灵敏度，同时具有更大的刚度，更高的模态频率，提高抗振动特性。

技术领域

本实用新型涉及陀螺仪技术领域，特别是涉及一种MEMS陀螺仪及电子产品。

背景技术

微机械陀螺仪，即MEMS(Micro Electro Mechanical systems)陀螺仪，是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来随着MEMS陀螺仪性能的逐步提升，广泛应用于汽车、工业、虚拟现实等领域。

环形陀螺仪的几何结构高度对称，陀螺的驱/检模态完全相同，灵敏度高，且结构简单，逐步成为实用较为广泛的高性能陀螺仪。但是，现有的环形陀螺仪受限于结构，在驱/检模态变形时，抗振动特性差。

因而，有必要提供一种新的MEMS陀螺仪以解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型主要是提供一种MEMS陀螺仪及电子产品，能够提高陀螺仪的灵敏度及抗振动特性。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种MEMS陀螺仪，所述MEMS陀螺仪包括：基底；第一环形件，悬置于所述基底上；第二环形件，套设于所述第一环形件外侧并与所述第一环形件间隔设置，且悬置于所述基底上；连接组件，设置于所述第一环形件与所述第二环形件之间且包括第三环形件及多个第一辐条，所述第三环形件套设于所述第一环形件外侧并分别与所述第一环形件及所述第二环形件间隔设置，且悬置于所述基底上，所述多个第一辐条分别连接所述第一环形件与所述第三环形件、所述第二环形件与所述第三环形件；固定件，与所述基底固定连接，套设于所述第二环形件外侧并与所述第二环形件间隔设置；第二辐条，连接所述第二环形件及所述固定件；电极组件，与所述基底固定连接，用于与所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件中的至少一个形成电容，以驱动所述第一环形件及所述第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测所述第一环形件及所述第二环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向或与所述第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。

在一具体实施方式中，所述电极组件包括第一电极组及第二电极组，所述第一电极组包括第一驱动电极及第一检测电极，所述第一驱动电极与所述第一环形件间隔设置形成第一电容，所述第一电容用于驱动所述第一环形件沿所述第一方向及所述第二方向振动，形成第一振动形态；所述第二电极组包括第二驱动电极和第二检测电极，所述第二驱动电极与所述第二环形件间隔设置形成第三电容，第三电容用于驱动所述第二环形件沿所述第一方向及所述第二方向振动，形成第二振动形态；所述第一振动形态与所述第二振动形态异步振动。

在一具体实施方式中，所述第一检测电极与所述第一环形件间隔设置形成第二电容，所述第二电容用于检测所述第一环形件沿所述45度方向或所述135度方向的振动位移，所述第二检测电极与第二环形件间隔设置形成第四电容，所述第四电容用于检测所述第二环形件沿所述45度方向或所述135度方向的振动位移。

在一具体实施方式中，所述第一电极组环形排布于所述第一环形件的内测，所述第二电极组环形排布于所述第二环形件的外侧。

在一具体实施方式中，所述第一环形件、所述第二环形件及所述第三环形件中的至少一个的数量为多个，所述多个第一环形件和/或所述多个第二环形件和/或所述多个第三环形件彼此间隔设置，所述陀螺仪还包括第三辐条，所述第三辐条连接所述多个第一环形件和/或连接多个第二环形件和/或连接多个第三环形件。