[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子产品

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：

基底；

固定件，与所述基底固定连接；

环形件，套设于所述固定件外侧并与所述固定件连接，且悬置于所述基底上，所述环形件在径向上的截面呈波浪形且在所述基底上的投影呈圆环形，所述环形件在波峰和/或波谷处设有环形开槽，以使得所述环形件分割形成多个彼此间隔的环形部及连接所述多个环形部的连接部；

电极组件，与所述基底固定连接，用于与所述环形件形成电容，以驱动所述环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测所述环形件沿与所述第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述电极组件包括至少一个驱动电极和至少一个检测电极，所述驱动电极和所述检测电极分别与所述环形件形成电容，所述驱动电极和所述检测电极的夹角为45°或135°；所述驱动电极驱动所述环形件沿所述第一方向和所述第二方向振动，所述检测电极检测所述环形件沿所述第三方向的振动位移。

3.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述环形件包括远离所述基底的上表面、与所述上表面相对的下表面以及连接所述上表面和所述下表面且远离所述固定件一侧的侧表面，所述电极组件与所述上表面、所述下表面、所述侧表面中的至少一个相对设置形成电容。

4.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述环形件包括至少两个依次连接的波谷结构和连接相邻两所述波谷结构的波峰，所述波谷结构包括自所述固定件朝靠近所述基底倾斜延伸的第一波臂、自所述第一波臂朝远离所述固定件且平行于所述基底延伸的波谷以及自所述波谷朝远离所述基底倾斜延伸的第二波臂，相邻的所述第一波臂和所述第二波臂通过所述波峰连接，所述波峰和/或所述波谷包括多个所述环形开槽和位于相邻两所述环形开槽之间的所述连接部，所述波峰与所述基底平行且所述波峰到所述基底的垂直距离大于所述波谷到所述基底的垂直距离。

5.根据权利要求4所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述电极组件包括多个平行等距间隔排列且与所述侧表面相对设置的第一电极以及多个平行等距间隔排列且与所述上表面相对设置的第二电极；所述第一电极与所述第二电极为所述驱动电极和/或所述检测电极。

6.根据权利要求5所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述多个第二电极与所述第一波臂的上表面和所述第二波臂的上表面相对设置。

7.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述多个环形部包括第一环形部、第二环形部、……、第n-1环形部和第n环形部，其中，n为大于等于2的自然数；

所述驱动电极用于驱动所述第一环形部至第n环形部的n个环形部分别沿所述第一方向和所述第二方向振动，使得所述第一环形部具有第一振动模态、所述第二环形部具有第二振动模态、……、所述第n-1环形部具有第n-1振动模态以及所述第n环形部具有第n振动模态；

所述检测电极用于检测所述第一环形部至第n环形部的n个环形部沿所述第三方向的振动位移。

8.根据权利要求7所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一振动模态、所述第二振动模态、……、所述第n-1振动模态和所述第n振动模态分为k组，任意两组具有相位差，k为大于等于2且小于等于n的自然数。

9.根据权利要求8所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述k等于2。

10.根据权利要求9所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述n等于2。

11.根据权利要求7所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一振动模态、所述第二振动模态、……、所述第n-1振动模态和所述第n振动模态的任意两振动模态之间无相位差。