[实用新型]一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置

权利要求书

1.一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，包括阴极基底（1）、阳极桨（2）、直线状微阳极（4）、电沉积电源（5）和电解液（6），其特征在于：它还包括滚动桨（3）；所述的阳极桨（2）底部设置有凹槽（2-1）；所述的滚动桨（3）包括圆形旋转杆（3-1）和包裹圆形旋转杆（3-1）的柔性毛刷（3-2）；所述的滚动桨（3）可转动地固定于凹槽（2-1）内；所述的直线状微阳极（4）置于2个滚动桨（3）中间；所述的滚动桨（3）的旋转轴线与直线状微阳极（4）平行；所述的柔性毛刷（3-2）与阴极基底（1）轻微接触。

2.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的直线状微阳极（4）固定于阳极桨（2）的底部，且其最下沿与阳极桨（2）的底部平齐。

3.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的滚动桨（3）与直线状微阳极（4）的水平距离可调。

4.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的阳极桨（2）可相对于阴极基底（1）作往复直线运动。

5.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的滚动桨（3）的转动方向相同，且转速可调、转向可变。

6.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的圆形旋转杆（3-1）的材质为聚丙烯。

7.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的柔性毛刷（3-2）的材质为聚丙烯。

8.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的电沉积电源（5）的负极与阴极基底（1）相连接，正极与直线状微阳极（4）相连接。

9.根据权利要求1所述的一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，其特征在于：所述的柔性毛刷（3-2）为表面含有绒毛的、具有一定弹力的套筒。