[实用新型]一种真空炉用带过滤的混气装置

说明书

本实用新型涉及一种真空炉用带过滤的混气装置，属于真空炉气体混合技术领域，包括混气筒，所述混气筒一端连接多根进气管，另一端连接一根出气管，出气管用于与真空炉连接，出气管与真空炉连接端为负压，所述混气筒内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯和位于滤芯外圈的固定环，滤芯的过滤精度为0.1～10微米。本实用新型，一方面滤芯起到了布气作用，可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。

技术领域

本实用新型涉及一种真空炉用带过滤的混气装置，属于真空炉气体混合技术领域。

背景技术

目前，真空炉的气体混合都是采用图1所述的混气装置，将需要混合的气体由进气管通过罐体的一端(进气端)通入罐体，再由另一端(出气端)引出通入真空炉，由于出气端为负压，气体由进气端通过罐体时通过自由扩散混合，这种方式混气效率低，混合不充分，混气效果差。

另外，在进气管和混气罐气体传输过程中，有可能会掉落杂质颗粒，随需要混合的气体一起进入真空炉，影响输入气体纯度，污染真空腔体。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种真空炉用带过滤的混气装置，一方面滤芯起到了布气作用，可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。

本实用新型采用以下技术方案：

一种真空炉用带过滤的混气装置，包括混气筒，所述混气筒一端连接多根进气管，另一端连接一根出气管，出气管用于与真空炉连接，出气管与真空炉连接端为负压，所述混气筒内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯和位于滤芯外圈的固定环，滤芯的过滤精度为0.1～10微米。

优选的，所述固定环为316L不锈钢材质，滤芯采用烧结的多孔金属滤芯、耐腐蚀耐热的镍基合金滤芯、100％镍合金、铝陶瓷、Teflon膜或陶瓷膜等，另外，本发明的滤芯也可采用现有高纯气体系统用气体过滤器内部所使用的滤芯。

本实用新型过滤装置的滤芯采用的是现有材料，其滤芯的过滤精度为微米级，在混气筒内起到布气盘的作用，使得气体分布混合均匀，同时可过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。

优选的，所述混气筒的内壁上周向设置有一环状的安装台阶，安装台阶与过滤装置的固定环之间采用多个螺丝等间距固定，安装台阶整体为环状，优选与混气筒内壁一体成型；

或者，所述混气筒的内壁上设置有一对安装耳，一对安装耳相对于混气筒轴线对称分布，安装耳与过滤装置的固定环之间采用螺丝固定。

本实用新型的安装台阶和安装耳上均有螺纹孔，固定环对应位置有通孔，可通过螺丝进行固定。

优选的，所述混气筒采用316L不锈钢材质。

优选的，所述进气管数量为2根，用于两种气体的混合，当然，也可根据需要设置多根进气管。

本实用新型未详尽之处，均可采用现有技术。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的真空炉用带过滤的混气装置，将现有的气体过滤器设置于混气筒内，由于负压的作用，混合的气体由混气筒的一端经滤芯流向另一端(出气端)，在气体流通过程中，滤芯起到了布气盘的作用，使得气体分布、混合更均匀，并且，滤芯可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净，综上，本实用新型的滤芯，布气合理，一方面可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。

附图说明

图1为现有技术中混气装置的结构示意图；

图2为本实用新型真空炉用带过滤的混气装置一种实施例的剖面图；

图3为本实用新型带有安装耳的混气筒的横截面示意图；