[实用新型]一种高精度反馈式压电减振装置

权利要求书

1.一种高精度反馈式压电减振装置，其特征在于，具体包括：从下至上依次设置的基板、智能模块层、下电极层、压电陶瓷阵列层、上电极层、匹配层、透声层。

2.如权利要求1所述的高精度反馈式压电减振装置，其特征在于，所述智能模块层中包含复数智能模块，所述智能模块与压电陶瓷阵列层中的压电陶瓷柱一一对应，每个智能模块包含至少一个反相器、一个调幅器和一个电源。

3.如权利要求1所述的高精度反馈式压电减振装置，其特征在于，所述压电陶瓷阵列层设置于下电极层上方，包含按预设图形排布的压电陶瓷柱阵列，所述压电陶瓷阵列由复数压电陶瓷柱横纵排列组成。

4.如权利要求3所述的高精度反馈式压电减振装置，其特征在于，所述压电陶瓷柱选材为铌酸钾钠基无铅压电陶瓷。