[实用新型]一种化学气相沉积炉进气分布装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，包括：

气相沉积炉进气分布设备本体；

气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；

排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；

环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部；

导流管一，所述导流管一固定安装在环形连接板上；

方形收纳箱，所述方形收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述方形收纳箱的顶部设有开口；

净化液存蓄箱，所述净化液存蓄箱固定安装在方形收纳箱的底部内壁上，所述导流管一远离环形连接板的一端延伸至净化液存蓄箱内；

两个竖型板，两个竖型板分别固定安装在方形收纳箱的两侧内壁上；

两个第一凹槽，两个第一凹槽分别开设在两个竖型板相互靠近的一侧，所述第一凹槽的顶部内壁设有开口；

过滤箱，所述过滤箱设置在两个第一凹槽内；

导流管二，所述导流管二固定安装在过滤箱的底部，所述导流管二的底端延伸至净化液存蓄箱内；

第一组件，所述第一组件设置在过滤箱内。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述气相沉积炉体靠近方形收纳箱的一侧固定安装有两个第一支撑块，所述第一支撑块远离气相沉积炉体的一侧与方形收纳箱固定连接。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述第一组件包含有化纤无纺滤过滤层一、合成纤维滤材过滤层二、合成纤维滤材过滤层三和活性炭过滤层四，所述合成纤维滤材过滤层二固定安装在化纤无纺滤过滤层一的顶部，所述合成纤维滤材过滤层三固定安装在合成纤维滤材过滤层二的顶部，所述活性炭过滤层四固定安装在合成纤维滤材过滤层三的顶部。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述净化液存蓄箱的一侧固定安装有第三管道和第四管道，所述第三管道远离净化液存蓄箱的一端延伸至方形收纳箱外，所述第四管道远离净化液存蓄箱的一端延伸至方形收纳箱外，所述第四管道位于第三管道的下方，所述第四管道上设有第一阀门。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述过滤箱的顶部固定安装有第一条形块，所述第一条形块上滑动安装有第一横杆，所述第一横杆上固定套设有圆形块，所述第一横杆上滑动套设有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端与第一条形块固定连接，所述伸缩弹簧的另一端与圆形块固定连接。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述第一凹槽的一侧内壁上开设有卡槽，所述第一横杆的一端延伸至卡槽内并与卡槽滑动连接。

7.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述第一条形块的一侧开设有圆形连接孔，所述圆形连接孔与第一横杆滑动连接，所述第一横杆的一端固定安装有把手。