[实用新型]一种晶圆棒切割设备

权利要求书

1.一种晶圆棒切割设备，其特征在于，包括基台、移动平台、切割装置支架、缠绕电机、金刚线轴、金刚线、线轮、液压缸支架、滑杆、液压缸、线轮支架、切削液储液桶、软管、喷嘴、固定工装，所述基台顶部一侧滑动安装有移动平台，所述移动平台上固定安装有固定工装，所述移动平台与基台之间安装有磁浮电机，所述基台顶部另一侧固定安装有切割装置支架；

所述切割装置支架包括上横杆、下横杆和立柱，三者构成“F”型结构，所述上横杆和下横杆远离立柱的一端分别安装有线轮，所述立柱上垂直设有液压缸支架，所述液压缸支架上固定安装有液压缸，所述液压缸顶部固定连接有线轮支架，所述液压缸支架上位于液压缸的左侧设有滑杆，所述线轮支架左端滑动套装在滑杆上，所述线轮支架上安装有线轮；

所述基台上位于切割装置支架安装的一侧固定安装有电机支架，所述电机支架上安装有缠绕电机，所述缠绕电机的输出轴上安装有金刚线轴，所述金刚线轴上缠绕有金刚线，所述金刚线的一端由金刚线轴牵出依次绕过线轮支架及切割装置支架上的线轮并回到金刚线轴且与金刚线轴固定连接；

所述基台底部设有切削液储液桶，所述切削液储液桶通过软管与喷嘴相连接，所述喷嘴固定在移动平台的上方；

所述磁浮电机、缠绕电机、液压缸的动作由PLC控制系统控制实现。

2.按照权利要求1所述的一种晶圆棒切割设备，其特征在于，所述线轮支架及切割装置支架上的线轮规格一致且同处于同一竖直平面内。

3.按照权利要求1所述的一种晶圆棒切割设备，其特征在于，所述滑杆的长度大于液压缸的最大行程。

4.按照权利要求1所述的一种晶圆棒切割设备，其特征在于，所述金刚线在金刚线轴上的缠绕圈数为N圈，N≥100。