[实用新型]环保高效再生装置

说明书

本实用公开了一种环保高效再生装置，包括：脱水系统、薄膜蒸发系统、固液分离和提纯系统；水储槽的出口经第二输送泵连接到薄膜蒸发器顶部冲洗附在薄膜蒸发器上的抗蚀剂，同时溶解出高沸点水溶性的化合物。本实用将回收的轻组分水用于洗涤薄膜蒸发器，减少薄膜蒸发器上抗蚀剂等的附着，提高蒸发效率，同时还能溶解其中的水溶性高沸点物质进行回收0‑10%/相对废剥离液（如常用防腐剂山梨糖醇:沸点494.9℃）。本实用能回收水、有机物、以及高沸点水溶性物质，回收效率高，能耗低。

技术领域

本实用涉及环保高效再生装置。

背景技术

通常在印刷电路板、液晶显示面板和半导体集成电路等工艺制造过程中，在光刻工序的最后阶段，必须用剥离液把光刻胶从基板上完全剥离下来，随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量液大为增加，剥离液的大量使用的同时也产生大量剥离液废液。由于剥离液的载体为有机溶剂，环保性差，对环境负载大，后期成本高，若能合理的实现再生利用，将极大的降低成本，减轻对环境的负担。因此，对剥离液的深层次研究及工艺探讨，简单而有效的处理方式对剥离液危废市场尤为重要。

中国专利CN 108926860A、CN 208340142 U、CN 205182227 U公开了一种将废剥离液中轻组分水、重组分光刻胶及金属离子切割干净分离回收有机化合物的方法，以上均采用精馏塔除轻组分水，采用薄膜蒸发器将光刻胶及金属离子等高沸点物质与有机物分离，回收大部分有机成分，回收得到的有机组分或再经过、脱色脱水、精馏处理后再次作为光刻胶剥离液应用，这种方法虽然流程简便，但在经过几次精馏得到高含量的有机组分时导致很大一部分有机组分的损失，未能实现经济最大化及最大化利用，同时在使用薄膜蒸发器蒸发溶剂的过程中，光刻胶浓度达到一定程度后其传质传热效率迅速下降，使溶剂回收效率大为降低，处理能耗显著升高，且出去溶剂后残留的光刻胶等物质需要定期将其清除干净，进而影响工艺操作效率；中国专利CN 1421398A公开了一种分子量为700-1000的以聚砜和聚丙烯腈为基材复合的NF膜分离废剥离液中烷醇胺和有机溶剂的处理方法，该处理方法虽然能耗较低，但需要昂贵的耐有机溶剂型的过滤膜，导致成本增加，且光刻胶为聚合物容易堵塞滤膜影响剥离液废液的回收效果。

实用新型内容

1、实用目的。

本实用提出了一种环保高效再生装置。

2、本实用所采用的技术方案。

一种环保高效再生装置，包括：脱水系统、薄膜蒸发系统、固液分离和提纯系统；

所述脱水系统包括：脱水塔、第一再沸器、第一冷凝器、水储槽，剥离废液槽通过第一输送泵与脱水塔的进料口连接，脱水塔顶部的水汽出口与第一冷凝器连接，第一冷凝器与水储槽连接，脱水塔底部经循环泵与第一再沸器连接，第一再沸器的出口与脱水塔中部或下部再沸入口连接；

所述薄膜蒸发系统包括薄膜蒸发器、第二再沸器、第二冷凝器，脱水塔底部出料口通过第二再沸器与薄膜蒸发器的入口连接，薄膜蒸发器顶部的水汽出口与第二冷凝器连接；

所述固液分离和提纯系统包括：固液分离器、废渣储槽、脱色系统、过滤器、剥离液槽，所述薄膜蒸发器底部的物料出口与固液分离器的顶部入口连接，固液分离器底部的固态物料出口连接到废渣储槽，固液分离器底部的液态物料出口与脱色系统连接，脱色系统经过滤器与剥离液槽连接，薄膜蒸发器上部的物料出口经第二冷凝器直接与剥离液槽连接；

所述水储槽的出口经第二输送泵连接到薄膜蒸发器顶部。

优选的，还包括第一真空泵，所述第一真空泵与第一冷凝器连接。

优选的，还包括第二真空泵，所述第二真空泵与第二冷凝器连接。

优选的，还包括搅拌装置，所述搅拌装置设置于剥离液槽内。搅拌装置用于在回收的剥离液中补充有机组分以配置新的剥离液时使用。