[实用新型]水平湿制程的输送装置

权利要求书

1.一种水平湿制程的输送装置，应用于湿制程设备，该输送装置利用驱动器驱动以输送弧状可挠性基板，该弧状可挠性基板由可制造弧面的治具所固定而成，其特征在于，该输送装置包括：

本体，具有二列对称的复数个承载部与位于复数个承载部之间的传输区域；以及

二列对夹抵压轮组，分别设置于该本体的两侧，每一列该对夹抵压轮组具有相对应的复数个上抵压轮、复数个下抵压轮以及复数个枢接件，各该上抵压轮与各该下抵压轮分别连接各该枢接件的一端，远离该上抵压轮与该下抵压轮的各该枢接件的另一端设置于该本体的各该承载部上，各该上抵压轮与各该下抵压轮位于该传输区域中，各该上抵压轮用以抵压位于该治具上的弧状可挠性基板的上表面，各该下抵压轮用以抵压该治具的下表面。

2.如权利要求1所述的水平湿制程的输送装置，其特征在于：该二列对夹抵压轮组设置于该本体的两侧，用以抵压于该治具的下表面及位于该治具上的该弧状可挠性基板的上表面上。

3.如权利要求2所述的水平湿制程的输送装置，其特征在于：该弧状可挠性基板具有第一侧边与第二侧边，该第一侧边与该第二侧边与该输送装置的传输方向为水平设置，使该弧状可挠性基板及其该治具以水平纵向传输于该输送装置上，二列该对夹抵压轮组是两组，分别位于该本体的两侧，两组的二列该对夹抵压轮组的该上抵压轮分别抵压该第一侧边表面与该第二侧边表面。

4.如权利要求1所述的水平湿制程的输送装置，其特征在于：该治具的两侧分别具有导引槽，该弧状可挠性基板具有第一侧边与第二侧边，该第一侧边与该第二侧边覆盖该导引槽上方，该上抵压轮沿着该导引槽以抵压定位该弧状可挠性基板的该第一侧边表面与该第二侧边表面。

5.如权利要求1所述的水平湿制程的输送装置，其特征在于：该二列对夹抵压轮组根据该治具及位于该治具上方的该弧状可挠性基板两者的高度变化而自动相应抵压于该治具及该弧状可挠性基板的表面上。

6.如权利要求5所述的水平湿制程的输送装置，其特征在于：该弧状可挠性基板具有第一侧边、第二侧边、第一弧边与第二弧边，该第一侧边与该第二侧边与该输送装置的传输方向呈垂直设置，使该弧状可挠性基板以水平横向传输于该输送装置上，二列该对夹抵压轮组是两组，分别位于该本体的两侧，两组的二列该对夹抵压轮组的该上抵压轮分别抵压该第一弧边表面与该第二弧边表面。