[实用新型]一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器有效
| 申请号： | 202021380139.0 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212513174U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 胡华才;李良 | 申请（专利权）人： | 河源市星通时频电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/688 | 分类号： | G01F1/688 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 何兵;饶盛添 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 热线 技术 气体 流量传感器 | ||
1.一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器，其特征在于：包括底座(200)、外壳(100)以及MEMS热线式气流传感器芯片(300)，所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)固定在所述底座(200)上，所述外壳(100)同样设置在所述底座(200)上，且所述外壳(100)罩住所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)，所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)通过金线(400)与所述底座(200)的引脚邦定，所述外壳(100)上设置有两个对流孔便于气流流过所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)的表面，所述对流孔在所述外壳(100)上的水平位置与所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)的表面相切。
2.根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征在于：所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)通过固晶技术固定于所述底座(200)上。
3.根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征在于：所述金线(400)的一端焊接在所述MEMS热线式气流传感器芯片(300)的功能引脚上，另一端焊接在所述底座(200)的焊盘上，使功能引脚与焊盘两者导通。
4.根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征在于：所述对流孔包括第一对流孔(110)和第二对流孔(120)，所述第一对流孔(110)和所述第二对流孔(120)在所述外壳(100)上相对设置。
5.根据权利要求4所述的气体流量传感器，其特征在于：所述外壳(100)呈扁平的立方体状，所述第一对流孔(110)设置在所述外壳(100)的侧面上，所述第二对流孔(120)设置在所述第一对流孔(110)相对的侧面上。
6.根据权利要求4所述的气体流量传感器，其特征在于：所述第一对流孔(110)的大小以及形状与所述第二对流孔(120)完全相同。
7.根据权利要求4所述的气体流量传感器，其特征在于：所述第一对流孔(110)大于或小于第二对流孔(120)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河源市星通时频电子有限公司，未经河源市星通时频电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021380139.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铅酸电池的充放电寿命检测装置
- 下一篇：一种具有紧固调节功能的桥架
