[实用新型]准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路及系统

权利要求书

1.一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路，其特征在于，包括：

脉冲隔离电路(110)，用于将外部输入TTL脉冲触发信号转换成陡脉冲沿，将高压脉冲电源的前级脉冲产生电路与固态开关隔离；

脉冲整形电路(120)，用于接收所述陡脉冲沿输入，进行脉冲整形，产生所需频率和/或脉宽的TTL脉冲信号。

2.如权利要求1所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路，其特征在于，所述脉冲整形电路(120)包括：

定宽电路(122)，连接至所述脉冲隔离电路(110)，用于对脉冲触发信号脉宽进行设定。

3.如权利要求1所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路，其特征在于，所述脉冲整形电路(120)包括：

限频电路(121)，连接至所述脉冲隔离电路(110)，用于对脉冲触发信号频率上限进行锁定。

4.如权利要求3所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路，其特征在于，所述脉冲整形电路(120)还包括：

定宽电路(122)，连接至所述限频电路(121)，用于对脉冲触发信号脉宽进行设定。

5.如权利要求2-4中任一项所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路，其特征在于，还包括：

外设驱动电路(130)，连接至所述脉冲整形电路(120)，用于提供驱动输出，匹配后级IGBT驱动模块。

6.一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制系统，其特征在于，包括：

如权利要求5所述的控制电路；

环境信号采集及处理单元(20)，用于采集激光器的环境信号，并生成环境状态监测信号；

多路状态互锁单元(30)，连接至所述环境信号采集及处理单元(20)，用于锁存所述环境状态监测信号，并输出互锁电平信号及状态上传信号；

其中，所述控制电路连接至所述多路状态互锁单元(30)，用于接收高压脉冲电源固态开关的前级触发脉冲信号，并根据所述多路状态互锁单元(30)输出的互锁电平信号控制固态开关的通断。

7.根据权利要求6所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制系统，其特征在于，还包括：

MCU主控单元(40)，连接至所述多路状态互锁单元(30)，用于接收并处理所述状态上传信号。

8.根据权利要求6所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制系统，其特征在于，所述环境信号采集及处理单元(20)包括：脉冲电压信号采集及处理单元、温度信号采集及处理单元、脉冲电流信号采集及处理单元以及漏液信号采集及处理单元中的一种或几种。

9.根据权利要求8所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制系统，其特征在于，所述脉冲电压信号采集及处理单元包括：

脉冲电压信号采集电路(211)，用于采集所述固态开关的脉冲电压；

第一比较电路，连接至所述脉冲电压信号采集电路，输出电压状态监测信号，所述第一比较电路包括：

脉冲电压过高比较电路(212)，用于将所述脉冲电压与预定的上限值进行比较；和/或

脉冲电压过低比较电路(213)，用于将所述脉冲电压与预定的下限值进行比较；和/或

脉冲电压反压过高比较电路(214)，用于将所述脉冲电压的反压与预定的上限值进行比较。

10.根据权利要求9所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制系统，其特征在于，所述多路状态互锁单元(30)包括：

信号互锁电路(302)，用于接收及锁存所述脉冲电压信号采集及处理单元输出的电压状态监测信号，并输出互锁电平信号和状态上传信号；

硬件上电复位电路(301)和/或软件触发复位电路(303)，其中，硬件上电复位电路(301)连接至所述信号互锁电路(302)，用于在系统上电时产生窄脉冲沿，将所述信号互锁电路复位初始化，软件触发复位电路(303)连接至所述信号互锁电路(302)，用于在系统工作时，接收MCU复位信号，控制所述信号互锁电路(302)复位。