[实用新型]托盘机构及蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种托盘机构及蒸镀设备,该托盘机构包括托盘本体；滚轮，滚轮用于带动托盘沿第一方向移动；收集装置，收集装置与托盘本体连接，收集装置包括第一收集部，第一收集部在支撑面所在平面的正投影完全覆盖滚轮在支撑面所在平面的正投影。当利用In line方式进行蒸镀时，颗粒物在自身重力的作用下会向位于滚轮下方的第一收集部移动，最终落在第一收集部上，大大减少了颗粒物附着至玻璃基板表面的现象，有效减少了OLED面板出现暗点的情况。另外，由于收集装置与托盘本体连接，则当托盘本体移动时，收集装置也会随之移动，能够做到对颗粒物的实时收集，进一步保障颗粒物收集的效率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀的技术领域，尤其是涉及一种托盘机构及蒸镀设备。

背景技术

为提高大尺寸玻璃基板在有机发光二级管(OLED)基础上进行高分辨率的移动显示，蒸镀设备及其相关的技术手段的开发越来越被的大型TV及照明产品的生产厂家重视。

OLED TV领域目前主流使用的是WOLED(白光OLED)生产的OLED TV，此方式在白光基础上进行发光，使用开放式掩膜版以In line方式生产面板已经成为标准化流程。Inline方式指的是：需要蒸镀物质的蒸发源位于蒸镀腔室下部，玻璃基板与开放式掩膜版贴合放置在托盘上，通过滚轮带动托盘这种机械性驱动的方式移动，从而进行蒸镀。

但是，现有技术中利用In line方式进行蒸镀时，玻璃基板和开放式掩膜版以贴合形态设置在托盘上面进行移送，滚轮与托盘发生接触，因此会发生机械性摩擦，导致金属性颗粒的生成；又由于蒸镀时很大概率会在滚轮上形成有机层，会导致有机物颗粒的生成，当这些颗粒在蒸镀腔室内漂浮，并附着到玻璃基板表面时，很容易使OLED面板出现暗点，从而导致面板发光效率低，使面板的性能和寿命受到影响。

实用新型内容

本实用新型提供了一种托盘机构，上述托盘机构大大减少了颗粒物附着至玻璃基板表面的现象，且能够做到对颗粒物的实时收集，进一步保障颗粒物收集的效率，从而有效减少OLED面板出现暗点的情况。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种托盘机构，包括托盘本体，托盘本体具有支撑面，支撑面用于支撑玻璃基板和开放式掩膜版；滚轮，滚轮用于带动托盘沿第一方向移动，第一方向与支撑面平行；收集装置，收集装置与托盘本体连接，收集装置包括第一收集部，第一收集部在支撑面所在平面的正投影完全覆盖滚轮在支撑面所在平面的正投影。

本实用新型提供的托盘机构，当利用In line方式进行蒸镀，滚轮与托盘本体发生机械性摩擦而产生金属性颗粒和有机物颗粒等颗粒物时，颗粒物在自身重力的作用下会向位于滚轮下方的第一收集部移动，最终落在第一收集部上；又由于第一收集部在支撑面所在平面的正投影完全覆盖滚轮在支撑面所在平面的正投影，也就是说，第一收集部的覆盖面积能够满足：第一收集部能够聚积由滚轮与托盘本体摩擦生成的颗粒物。

这种设置方式，在利用In line方式进行蒸镀时产生的颗粒物均能够聚集在第一收集部上，大大减少了颗粒物附着至玻璃基板表面的现象，有效减少了OLED面板出现暗点的情况，从而保障了OLED面板的性能和寿命。另外，由于收集装置与托盘本体连接，则当托盘本体移动时，收集装置也会随之移动，能够做到对颗粒物的实时收集，进一步保障颗粒物收集的效率。

可选地，收集装置还包括第二收集部，第二收集部位于第一收集部朝向托盘本体的一侧、且与第一收集部的第一侧边连接；第一收集部与第二收集部垂直，第二收集部与托盘本体连接。

可选地，第一收集部和第二收集部均设置有磁石；

可选地，第二收集部与托盘本体铰接；收集装置能够由第一状态转动至第二状态；当收集装置处于第一状态时：第一收集部与支撑面平行，第二收集部与支撑面垂直；当收集装置处于第二状态时：第一收集部与支撑面垂直，第二收集部与支撑面平行。