[实用新型]真空干燥装置

说明书

本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。通过基板罩遮挡像素坑的周边区域，使得在真空干燥过程中像素坑内气流均匀稳定，有利于像素坑中的功能层材料墨滴溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。

技术领域

本申请属于干燥设备技术领域，具体涉及一种真空干燥装置。

背景技术

目前在显示行业的喷墨打印技术中，像素基板被吸附在打印基台上，溶解在溶剂中的各种材料(包括，功能层材料，以及红、绿、蓝三色发光材料)的溶液被喷涂在该基板的像素坑中，形成红、绿、蓝三基色发光像素的膜层。再通过后续的干燥工艺去除膜层中的多余溶剂，其中，干燥工艺一般包括抽真空干燥工艺，抽真空干燥通常在一个真空腔室中采用减压除湿法去除膜层中的溶剂，但发现干燥后的膜层形貌不均匀，严重影响器件的质量。

实用新型内容

针对上述技术问题，本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置用于干燥一基板，包括：真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接；承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。

进一步地，所述像素坑具有开口部，所述基板罩包括多个开孔，所述开孔与所述开口部对应设置，所述开孔的面积小于所述开口部的面积；

优选地，所述像素坑还具有底部，所述开孔的面积小于所述底部的面积。

进一步地，还包括气流缓冲区，所述气流缓冲区设置于所述主气流管道和所述基板罩之间，所述气流缓冲区包括多个气流导管，所述气流导管与所述主气流管道连接；

优选地，所述气流导管上具有多个孔洞。

进一步地，所述气流缓冲区还包括导流板，所述导流板位于所述气流导管和所述基板罩之间，所述导流板上设置多个导流孔。

进一步地，所述多个导流孔在所述导流板上呈由中心至边缘减少排布。

进一步地，所述基板罩包括第一子板和与所述第一子板交叉设置的第二子板，所述开孔设置于所述第一子板与所述第二子板交叉围成的区域；

优选的，所述开孔的面积通过所述第一子板和所述第二子板调节。

进一步地，所述基板罩还包括驱动组件，所述驱动组件分别连接所述第一子板和所述第二子板；

优选地，所述驱动组件与所述第一子板或所述第二子板的连接方式为滑动连接、铰链连接、螺纹连接中的一种；

优选地，所述驱动组件包括驱动部、导轨和滑块，所述滑块固定设置于所述第一子板或所述第二子板，所述驱动部驱动所述滑块沿所述导轨滑动。

进一步地，所述承载台的温度由中心向边缘逐渐降低；

优选地，所述承载台为多个；

优选地，所述承载台具有卡位。

进一步地，所述真空腔室具有基板输送窗口，所述基板输送窗口的高度大于所述基板的厚度。

进一步地，所述基板与所述基板罩的间距不超过1cm，优选为100～500μm；

优选地，所述基板罩的材料为合金材料。

有益效果：本申请的真空干燥装置，通过在基板上设置基板罩，基板罩遮挡了像素坑内的周边区域，降低了周边区域中墨滴溶剂的挥发速率，使得像素坑的中间区域与周边区域的墨滴溶剂挥发速率趋于一致，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。