[实用新型]一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置

权利要求书

1.一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，包括机架(1)，所述机架(1)的一端分别设有储气罐(2)、回收罐(3)以及用于安装所述储气罐(2)、回收罐(3)的安装架(4)，所述机架(1)的中部分别设有主压缩机(5)、机械泵(6)，所述机架(1)的另一端分别设有电源接头(7)、控制信号接头(8)、充气接头(9)、补气接头(10)；所述机架(1)上设有将所述储气罐(2)、回收罐(3)、充气接头(9)、补气接头(10)连接的管路，所述管路上设有控制阀组件，所述控制阀组件电性连接所述控制信号接头(8)，所述主压缩机(5)、机械泵(6)电性连接所述电源接头(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述管路包括第一气管(11)、第二气管(12)、第三气管(13)、第四气管(14)、第五气管(15)，所述储气罐(2)通过第一气管(11)连接所述充气接头(9)，所述回收罐(3)分别通过第二气管(12)、第三气管(13)连接第一气管(11)，所述回收罐(3)通过第四气管(14)连接所述补气接头(10)，所述回收罐(3)通过第五气管(15)连接所述储气罐(2)；所述控制阀组件包括第一控制阀(16)、第二控制阀(17)、第三控制阀(18)、第四控制阀(19)、单向阀(20)，第一控制阀(16)位于第一气管(11)上，第二控制阀(17)位于第二气管(12)上，第三控制阀(18)位于第三气管(13)上，所述机械泵(6)位于所述回收罐(3)与第三控制阀(18)之间的第三气管(13)上，第四控制阀(19)位于第四气管(14)上，所述主压缩机(5)位于第五气管(15)上，单向阀(20)分别位于所述主压缩机(5)两端的第五气管(15)上；所述第一控制阀(16)、第二控制阀(17)、第三控制阀(18)、第四控制阀(19)电性连接所述控制信号接头(8)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述储气罐(2)与第一控制阀(16)之间的第一气管(11)上设有电性连接所述控制信号接头(8)的第一压力传感器(21)。

4.根据权利要求2所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述机械泵(6)与第三控制阀(18)之间的第三气管(13)上设有电性连接所述控制信号接头(8)的第二压力传感器(22)。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述机架(1)上设有用于安装所述储气罐(2)的第一定位槽(23)、用于安装所述回收罐(3)的第二定位槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述安装架(4)上设有用于箍紧所述储气罐(2)的第一卡箍(24)，用于箍紧所述回收罐(3)的第二卡箍。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述机架(1)上设有将所述主压缩机(5)、机械泵(6)覆盖的保护罩(25)。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述机架(1)上设有用于安装所述电源接头(7)、控制信号接头(8)、充气接头(9)、补气接头(10)的安装板(26)。

9.根据权利要求1所述的一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，其特征在于，所述机架(1)底部设有轮子(27)和脚杯(28)。