[实用新型]一种流体化学品智能供应系统

说明书

本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体是流体化学品智能供应系统。

背景技术

受近年来我国电子产品内需的拉动，并叠加互联网进入到千家万户基本实现全覆盖和移动互联网的全民应用，中国芯片迎来的一个崭新的电子时代。由于我们芯片研发起步晚，大部分核心技术和生产设备都在国外完成，在我们内需暴增时期，外国实行技术封锁的背景下，党中央国务院提出大力发展和扶持并加大资金投入芯片制造业，我司在顺应国家政策导向，力行国家芯片战略方针，公司根据自身的实际情况，选择了在围绕芯片制造环节的研磨周围辅助设备上投入大量研发经费，研发并制造出的流体化学品智能供应系统。

实用新型内容

本实用新型采用的技术方案,提供了流体化学品智能供应系统，主要包括主箱柜、电控箱、上门407、下门406、原液钢瓶404、供液钢瓶405、操控屏408、控制管路、监测传感器。所述主箱柜402是整个设备骨架，用于安装和支撑设备的所有零部件；所述的电控箱401用于排布电子控制线路的元器件，且顶部安装有三色蜂鸣报警灯207用于侦测设备运行所处状态及发出警报蜂鸣声；所述的上门407用于设备调试时打开上门，方便所有的手阀307和调压阀305进行运行调试，且上门安装了防爆玻璃，可以在闭门的状态下可视管路中手阀的开关状态；所述的下门406用于更换钢瓶时打开，便于接头松紧操作及可视化装卸；所述的原液钢瓶404用于补充供液钢瓶405使用；所述的供液钢瓶405用于供液输出使用；所述的操控屏 408是用于设置运行参数和调试运行时系统人机交互界面；所述的控制管路403包括主要管路有排气101、氮气102、纯氦气103、纯氮气104、抽真空105、供应输出1 106、供应输出2 107、供应输出3 108、供应输出4 109、供液钢瓶补液管路、供液钢瓶输出管路111、脱气装置208、排风换气管道201；所述的监测传感器有原液钢瓶浮球液位传感器一301和电子称一211、供液钢瓶浮球液位传感器二302和电子称二212、所有压力传感器303、风压表202、红外或紫外传感器203、烟雾传感器204、气体侦测传感器 205、温度传感器206。

原液钢瓶404内部设有浮球液位传感器一301，监测原液钢瓶404的液位高H、低液位L、极低液位 LL，供液钢瓶405内部设有浮球液位传感器二302，监测供液钢瓶405的液位极高HH、液位高H、低液位 L、极低液位LL，便于系统实时监控供液钢瓶405中液位，并自动控制管路403上自动阀306的通断情况，控制管路403包括主要管路有排气101、氮气102、纯氦气103、纯氮气104、抽真空105、供应输出1106、供应输出2107、供应输出3108、供应输出4109、供液钢瓶补液管路、供液钢瓶输出管路111、脱气装置208、排风换气管道201，监测传感器主要分管路控制和设备外围监测两部分，管路控制部分的传感器有原液钢瓶浮球液位传感器一301和电子称一211、供液钢瓶浮球液位传感器二302和电子称二212、所有压力传感器303；设备外围部分的传感器有风压表202、红外或紫外传感器203、烟雾传感器204、气体侦测传感器205、温度传感器206、三色蜂鸣报警灯207。

进一步优化的是，所述的原液钢瓶404可根据浮球液位状态或电子秤一211信号指示进行厂务原液桶自动补液或人工换瓶补液。

进一步优化的是,所述的供液钢瓶405可根据浮球液位状态和电子秤二212信号指示，然后再通过纯氦气103或纯氮气104压力控制进行自动补液，并且可在自动补液的过程中保持持续供应输出。