[实用新型]扫描隧道显微镜

权利要求书

1.一种扫描隧道显微镜，其特征在于，所述扫描隧道显微镜包括基体，所述基体上设置有样品台，所述样品台上可活动地安装有用于承载样品的样品架，所述样品配置有与之隔断的导电结构，所述基体上设置有扫描头，所述扫描头包括扫描探针并配置有驱动装置；

所述扫描隧道显微镜还包括第一电源和第二电源，所述第一电源的两个电极能够分别与所述样品和所述扫描探针电性连接以便在所述扫描探针与所述样品之间产生隧穿电流，所述第二电源的两个电极能够分别与所述样品和所述导电结构电性接触以便调节所述样品的载流子浓度。

2.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述导电结构设置在所述样品架上，所述第一电源的第一电极与所述扫描探针电性连接，

在所述样品架安装至所述样品台时，所述第一电源的第二电极恰好与所述样品电性接触，所述第二电源的第一电极和第二电极恰好与所述导电结构和所述样品电性接触。

3.根据权利要求2所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品台和所述样品架均为导电体，所述样品与所述样品架电性连接，所述样品台上设置有第一对接结构，所述第一对接结构与所述样品台之间设置有第一绝缘结构，所述导电结构配置有与之电性连接的第二对接结构，所述第二电源的第一电极和第二电极分别与所述第一对接结构和所述样品台电性连接，

在所述样品架安装至所述样品台时，所述样品台与所述样品架电性接触，所述第一对接结构与所述第二对接结构电性接触。

4.根据权利要求2所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品台和所述样品架均为导电体，所述样品与所述样品架电性连接，所述样品台上设置有第一对接结构，所述第一对接结构与所述样品台之间设置有第一绝缘结构，所述导电结构配置有与之电性连接的第二对接结构，所述第二电源的第一电极与所述第一对接结构电性连接，所述第二电源的第二电极和所述样品台均接地，

在所述样品架安装至所述样品台时，所述样品台与所述样品架电性接触，所述第一对接结构与所述第二对接结构电性接触。

5.根据权利要求3或4所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品架的上表面设置有第二绝缘结构，所述导电结构固定于所述第二绝缘结构上部，所述导电结构的上部设置有第三绝缘结构，所述样品固定在所述第三绝缘结构的上部，所述样品通过导线与所述样品架电性连接。

6.根据权利要求5所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品台包括本体，所述本体上设置有滑槽，所述样品架能够相对所述滑槽滑动。

7.根据权利要求6所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述第一对接结构包括沿所述样品架的滑出方向延伸的弹性臂，

在所述样品架安装至所述样品台的情况下，所述弹性臂与所述第二对接结构抵接，并且所述弹性臂与所述样品台配合夹紧所述样品和所述样品架。

8.根据权利要求7所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述弹性臂在朝向所述样品架的侧部具有夹持端，

在所述样品架安装至所述样品台的情况下，所述夹持端抵接至所述第二对接结构。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述扫描隧道显微镜配置有抽真空装置，所述扫描隧道显微镜包括壳体且所述的壳体内具有腔体，所述抽真空装置能够与所述腔体连通，以便使所述样品台、所述样品架以及所述扫描头容纳于被抽成真空的所述腔体内。

10.根据权利要求9所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述第二电源为数字源表。