[实用新型]一种液体循环处理槽及液体循环处理系统有效

专利信息
申请号: 202021395583.X 申请日: 2020-07-15
公开(公告)号: CN212380395U 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 张淋;梁先东 申请(专利权)人: 苏州宝馨科技实业股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;贾允
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 液体 循环 处理 系统
【说明书】:

实用新型涉及液体处理技术领域,本实用新型公开了一种液体循环处理槽及液体循环处理系统,具体公开了一种液体循环处理槽,其包括主腔槽、副腔槽、泵浦吸液管和进液管;主腔槽设于副腔槽内,且主腔槽的底板与副腔槽的第一底板存在第一预设高度;主腔槽内设有进液管;该主腔槽的侧面设有溢流孔,能够使主腔槽与副腔槽连通;副腔槽内的一侧设有该泵浦吸液管的第一端口;第一端口与该第一底板的距离大于等于第一预设高度;泵浦吸液管的第二端口与进液管连通,泵浦吸液管用于吸入副腔槽的液体,进而液体通过进液管流回主腔槽。本实用新型提供的液体循环处理槽具有降低液体中有害物质的含量,提高产品的质量的特点。

技术领域

本实用新型涉及液体处理技术领域,特别涉及一种液体循环处理槽及液体循环处理系统。

背景技术

随着化工行业的发展,其在器件制造过程中的作用也越来越重要,例如太阳能电池、硅片以及印刷线路板的制造过程,常涉及多步清洁、反应或者刻蚀等步骤,不论是清洁、反应还是刻蚀一般都是置于特定液体循环处理系统的槽中进行的。

目前,人们对于节能环保能源的需要越来越大,促进了太阳能电池的发展,然而太阳能电池生产工艺复杂,尤其是化学反应步骤,直接关系到电池的性能,故而其对药液槽中的液体要求也较高。

一般,是将太阳能硅片置于药液槽中,通过直接循环药液中的液体,使得药水与硅片接触,不断反应,反应完后直接将混合液体排出,进而完成反应。

然而由于反应过程中,药水与硅片发生了化学反应,会产生各种产物,尤其是粘性物质时,该物质在反应液中大量存留,进而影响硅片表面处理效果,如果通过增加添加剂的方式改善,会造成成本增加。

实用新型内容

本实用新型要解决的是现有技术中在液体循环槽处理产品过程中,产生的有害物质的含量过大进而影响产品质量,尤其是反应粘性物质影响硅片表面处理效果的技术问题。

为解决上述技术问题,本申请在一方面公开了一种液体循环处理槽,其包括主腔槽、副腔槽、泵浦吸液管和进液管;

该主腔槽设于该副腔槽内,且该主腔槽的底板与该副腔槽的第一底板存在第一预设高度;

该主腔槽内设有进液管;

该主腔槽的侧面设有溢流孔,能够使该主腔槽与该副腔槽连通;

该副腔槽内的一侧设有该泵浦吸液管的第一端口;

该第一端口与该第一底板的距离大于等于该第一预设高度;

该泵浦吸液管的第二端口与该进液管连通,该泵浦吸液管用于吸入该副腔槽的液体,进而该液体通过该进液管流回该主腔槽。

可选地,还包括阻流件;

该阻流件设于该第一底板上;

且该阻流件的顶部与该主腔槽的底板连接;

该阻流件上设有通孔。

可选地,该通孔位于该阻流件的边上。

可选地,还包括泵浦;

该泵浦分别与该进液管和该泵浦吸液管的第二端口连接。

可选地,该主腔槽的底板上设有过流孔;

该过流孔的面积小于该第一端口的口径面积。

可选地,还包括排液管和排液阀;

该排液管上设有该排液阀;

该排液管的端口位于该副腔槽内。

可选地,该副腔槽包括靠近该排液管的第一侧板;

该第一底板与该第一侧板存在第一夹角;

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