[实用新型]一种钙钛矿薄膜的涂布装置

权利要求书

1.一种钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，用以在基底上进行大面积涂布，包括：机座、涂布平台、模头装置、预涂装置及供液装置，其中

所述涂布平台，固定安装于所述机座，并为涂布工序提供操作平面的平台，包括水平板及为所述水平板提供热量的加热元件；

所述模头装置，设在所述机座上，包括模头架、模头及伸缩元件，所述模头架底部与所述机座连接，所述模头位于所述涂布平台上方且其内部设有溶液通道，所述模头的顶部通过所述伸缩元件与所述模头架连接，所述模头底部的溶液通道出液口处设有模唇；

所述预涂装置，包括预涂辊、刮刀及接液槽，所述预涂辊的最高点与放置在所述涂布平台的基底上表面齐平，所述刮刀与所述预涂辊对应设置，用以刮除预涂在所述预涂辊上的溶液，所述接液槽用以接收从所述预涂辊上刮除下来的溶液；

所述供液装置，与所述溶液通道的入液口连接，为所述模头提供溶液。

2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述水平板包括上平板、下撑板及高度调节元件，所述上平板通过所述高度调节元件与所述下撑板连接，所述高度调节元件沿周向均匀分布在所述下撑板的四个角处，所述下撑板与所述机座固定连接。

3.根据权利要求2所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述高度调节元件为螺纹连接件，所述上平板上设有水平测量仪。

4.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述模头装置还包括导轨，所述模头架为横跨所述涂布平台的龙门式结构，所述模头架底部通过所述导轨与所述机座之间可移动连接。

5.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述模头装置还包括微调组件，所述模头通过微调组件与所述伸缩元件连接，所述微调组件包括一件连接板及两件微调元件，所述连接板与所述伸缩元件的伸缩端连接，两件所述微调元件的一端沿所述模头架的移动方向左右对称设置在所述模头顶部，且两件所述微调元件的另一端与所述连接板连接。

6.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述预涂装置还包括伺服控制器，所述伺服控制器为所述预涂辊提供旋转动力。

7.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述预涂装置还包括预涂辊支架，所述预涂辊支架上对称设有两件支撑臂，两件所述支撑臂包含相同的伸缩柱，且两件所述支撑臂分别支撑所述预涂辊的两端。

8.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述供液装置包括储液槽、供液泵及供液管路，所述供液泵的进口和出口通过所述供液管路分别与所述储液槽及所述模头上的溶液通道入液口连接。

9.根据权利要求8所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述预涂装置还包括回液泵及回液管路，所述回液泵的进口和出口通过所述回液管路分别与所述接液槽及储液槽连接。

10.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括传动装置，所述传动装置包括安放机械手及领取机械手，所述安放机械手用于将未涂布的基底放置在所述涂布平台上，所述领取机械手用于将已涂布完成的基底从所述涂布平台上转移至下一工序。